[發(fā)明專利]快速熱退火方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010605225.1 | 申請日： | 2010-12-27 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN102560025A | 公開（公告）日： | 2012-07-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 周祖源 | 申請（專利權(quán)）人： | 無錫華潤上華科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C21D1/26 | 分類號(hào)： | C21D1/26 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 214028 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 快速 退火 方法 | ||
1.一種快速熱退火方法，其特征在于：該方法至少包括一個(gè)快速升溫步驟及在所述快速升溫步驟之后依次進(jìn)行的四個(gè)緩速升溫步驟，所述快速升溫步驟的升溫速度為45℃/秒，所述四個(gè)緩速升溫步驟的升溫速度依次逐漸減小。
2.如權(quán)利要求1所述的快速熱退火方法，其特征在于：所述快速升溫步驟的截止溫度為550℃，穩(wěn)定時(shí)間為20秒。
3.如權(quán)利要求2所述的快速熱退火方法，其特征在于：所述四個(gè)緩速升溫步驟中的第一步中，其穩(wěn)定時(shí)間為60秒，其升溫速度為35℃/秒。
4.如權(quán)利要求3所述的快速熱退火方法，其特征在于：所述四個(gè)緩速升溫步驟中的第二步中，其截止溫度為700℃，穩(wěn)定時(shí)間為60秒，其升溫速度為20℃/秒。
5.如權(quán)利要求4所述的快速熱退火方法，其特征在于：所述四個(gè)緩速升溫步驟中的第三步中，其截止溫度為720℃，且穩(wěn)定時(shí)間為60秒，其升溫速度為5℃/秒。
6.如權(quán)利要求5所述的快速熱退火方法，其特征在于：所述四個(gè)緩速升溫步驟中的第四步中，其截止溫度上升至750℃，穩(wěn)定時(shí)間為60秒，其升溫速度為5℃/秒。
7.如權(quán)利要求1至6項(xiàng)中任意一項(xiàng)所述的快速熱退火方法，其特征在于：在所述四個(gè)緩速升溫步驟完成之后還設(shè)有一退火步驟，該退火步驟的截止溫度為750℃，穩(wěn)定時(shí)間為12秒。
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