[發明專利]一種光刻膠剝離液無效
| 申請號： | 201010604152.4 | 申請日： | 2010-12-24 |
| 公開（公告）號： | CN102012645A | 公開（公告）日： | 2011-04-13 |
| 發明（設計）人： | 何國銳;殷健成 | 申請（專利權）人： | 東莞市智高化學原料有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/42 | 分類號： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 廣州市南鋒專利事務所有限公司 44228 | 代理人： | 羅曉聰 |
| 地址： | 523000 廣東省東莞市大嶺山鎮*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光刻 剝離 | ||
1.一種光刻膠剝離液，其特征在于：該光刻膠剝離液的構成原料及重量配比為：
水合肼或有機胺化合物?????????1～15份；
溶劑?????????????????????????????????10～45份；
抗蝕劑??????????????????????????????0.1～5份；
純水?????????????????????????????????余份。
2.根據權利要求1所述的一種光刻膠剝離液，其特征在于：所述光刻膠剝離液的構成原料及重量配比為：
水合肼或有機胺化合物??????????11份；
溶劑??????????????????????????????????31份；
抗蝕劑???????????????????????????????0.8份；
純水??????????????????????????????????57.2份。
3.根據權利要求1所述的一種光刻膠剝離液，其特征在于：所述光刻膠剝離液的構成原料及重量配比為：
水合肼或有機胺化合物??????????14.3份；
溶劑??????????????????????????????????35.4份；
抗蝕劑???????????????????????????????0.6份；
純水???????????????????????????????????49.7份。
4.根據權利要求1-3任意一項所述的一種光刻膠剝離液，其特征在于：所述的有機胺化合物為：甲胺、二甲胺、三甲胺、乙胺、二乙胺、三乙胺、異丙胺、仲丁胺、叔丁胺、乙二胺、己胺、己二胺、二亞乙基三胺、三亞乙基二胺、羥胺中的一種或幾種。
5.根據權利要求1-3任意一項所述的一種光刻膠剝離液，其特征在于：所述的溶劑為：二甲基亞砜、N-甲基吡啶烷酮、一甲基甲酰胺、一甲基乙酰胺、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、乙二醇二甲醚、N-N-二甲基乙酰胺、環丁砜中的一種或幾種。
6.根據權利要求1-3任意一項所述的一種光刻膠剝離液，其特征在于：所述的抗蝕劑為：鄰苯二酚、苯并三唑、沒食子酸、沒食子酸甲酯、乳酸、果糖、檸檬酸中的一種或幾種。
7.根據權利要求1-3任意一項所述的一種光刻膠剝離液，其特征在于：所述的純水是經過離子交換樹脂過濾的水，其電阻至少是18MΩ。
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