[發(fā)明專利]一種利用循環(huán)熱對三氯氫硅進行精餾提純的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010601925.3
• 申請日: 2010-12-23
• 公開（公告）號: CN102009979A
• 公開（公告）日: 2011-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郎豐平;邱順恩;黃少輝;黃小明;李明生
• 申請（專利權(quán)）人: 江西嘉柏新材料有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京元中知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11223
• 代理人: 楊建君

1.一種利用循環(huán)熱對三氯氫硅進行精餾提純的方法，其特征在于：在三氯氫硅合成爐、精餾塔、氯化氫合成爐之間設(shè)置循環(huán)的液流通道，所述的液流通道包括依次連接的冷流槽、三氯氫硅合成爐夾套、氯化氫合成爐夾套、熱流槽、精餾塔上的夾套，其中三氯氫硅合成爐夾套與氯化氫合成爐夾套并聯(lián)在冷流槽與熱流槽之間，通過控制系統(tǒng)的控制，利用液流通道中的傳熱介質(zhì)將氯化氫合成爐及三氯氫硅合成爐中的熱量移用于精餾塔中三氯氫硅的精餾提純，實現(xiàn)系統(tǒng)熱量的循環(huán)利用。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述的熱流槽上部還設(shè)有溢流管道，所述的溢流管道連接一氣液熱交換器，所述的氣液熱交換器將溢流管道中傳熱介質(zhì)的熱量用于氮氣的預(yù)熱，氮氣通過所述的氣液熱交換器預(yù)熱后進入氮氣加熱裝置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于：所述的熱流槽上設(shè)有溫度傳感器及補液管道，當溫度傳感器檢測到熱流槽內(nèi)液溫超過80-85℃時，系統(tǒng)控制補液管道向熱流槽內(nèi)補加冷傳熱介質(zhì)調(diào)節(jié)液溫，使其能夠以80-85℃的預(yù)設(shè)溫度用于精餾塔塔釜的精餾，當液位達到最高值，傳熱介質(zhì)從溢流管道排出。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于：所述的三氯氫硅合成爐及氯化氫合成爐上設(shè)有溫度傳感器，冷流槽上設(shè)有調(diào)節(jié)閥，系統(tǒng)通過控制冷流槽上調(diào)節(jié)閥的開度，控制循環(huán)液流量，實現(xiàn)對三氯氫硅合成爐及氯化氫合成爐內(nèi)溫度的準確控制。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于：從氣液熱交換器中排出的傳熱介質(zhì)進入與補液管道相連的儲液裝置用于調(diào)節(jié)熱流槽內(nèi)的液溫。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于：所述的氣液熱交換器為螺旋盤管熱交換器、螺旋盤管板熱交換器或內(nèi)展翅片換熱器。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于：所述的氮氣加熱裝置為氮氣電加熱器，經(jīng)預(yù)熱后的氮氣進入氮氣電加熱器后加熱至140-160℃用于干燥硅粉，優(yōu)選150℃。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項所述的方法，其特征在于：所述的傳熱介質(zhì)為水或油。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-7所述的方法，其特征在于：所述的熱流槽分為兩室，其中室1的進水口連接氯化氫合成爐夾套，出水口通過溢流管道與氣液熱交換器連接；室2的進水口連接三氯氫硅合成爐夾套，出水口連接精餾塔夾套，此外儲液裝置通過補液管道與室2連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于：所述的室1與室2的體積比為1∶2-2∶1，優(yōu)選2∶3-4∶3，更優(yōu)選5∶7。