[發明專利]冷壁間歇式反應器無效
| 申請號: | 201010599153.4 | 申請日: | 2010-12-22 |
| 公開(公告)號: | CN102094183A | 公開(公告)日: | 2011-06-15 |
| 發明(設計)人: | 張占文;黃勇;梅魯生;李波;陳素芬;漆小波;魏勝;劉一楊 | 申請(專利權)人: | 中國工程物理研究院激光聚變研究中心 |
| 主分類號: | C23C16/18 | 分類號: | C23C16/18;C23C16/44 |
| 代理公司: | 中國工程物理研究院專利中心 51210 | 代理人: | 翟長明;韓志英 |
| 地址: | 621900 四*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 間歇 反應器 | ||
1.冷壁間歇式反應器,其特征在于:所述的反應器含有反應腔體和與之相連接的氣路和水冷系統;反應腔體包含反應腔、樣品加熱控溫座、豎直視鏡窗、左視鏡窗和右進料口;反應腔體為水平的空心圓柱體雙層結構,內層空心圓柱體為反應腔(14),反應腔(14)設置有進氣端口(7)和出氣端口(8);壁上設有水冷套夾層(1)并配上進出水端口;左端為左視鏡窗(2),右端為進料口(3),樣品加熱控溫座(4)由反應腔體底部伸入反應腔內,樣品加熱控溫座(4)上端設有一凹形的樣品平臺(5),在樣品平臺(5)的正上方設有豎直視鏡窗(6);
水冷套夾層(1)進出水端口與油浴裝置連接;左視鏡窗(2)采用螺紋壓頭(17)配合橡膠墊圈將石英玻璃(20)固定;豎直視鏡窗(6)采用螺紋壓頭(23)配合橡膠墊圈將石英玻璃(26)固定;進料口(3)通過螺紋壓頭(21)將密封塊(22)與反應腔(14)封密;
樣品加熱控溫座(4)以一空心的金屬圓柱體(9)作為骨架,加熱絲(10)環繞在一根豎直的空心瓷管(11)上,加熱絲(10)一端與金屬圓柱體(9)的內壁相連,一端通過引線由樣品加熱控溫座(4)下端引出;溫度傳感器(12)通過空心瓷管(11)的中空部分穿過與凹形的樣品平臺(5)的底面接觸,引線由樣品加熱控溫座(4)下端引出,內部通過耐高溫膠膠合形成一個實心的整體;
密封圈(29)緊套在樣品加熱控溫座(4)外殼上,穿過固定座(27)內置孔(31),通過隔熱環套(30)和固定螺帽(28)將加熱控溫座(4)固定在固定座(27)上;
樣品加熱控溫座(4)的引出線與它所配接的溫度測控儀連接;
所述的進氣端口(7)通過一個四通和三個閥門分別與真空泵(13)、氫氣源、二氧化碳氣源相連接,氫氣源是指通過質量流量計(32)和氫氣減壓閥(33)與氫氣瓶(34)相連接,二氧化碳氣源是指通過二氧化碳增壓器(36)配備壓力傳感器(35)和一個閥門與二氧化碳氣瓶(37)相連接,所述的出氣端口(8)通過一個四通分為三路:分別是通過一個閥門直接通入室外的排氣管、接有一個安全爆破閥(15)再通入室外的排氣管和通過配接端口連接一個壓力傳感器(16)。
2.根據權利要求1所述的冷壁間歇式反應器,其特征在于:所述的樣品平臺(5)上設置有帶有溫度設定和控制的測控儀的加熱控溫座(4)。
3.根據權利要求1或2所述的冷壁間歇式反應器,其特征在于:所述樣品平臺(5)的溫度控制為100℃~200℃,反應腔內其它位置的溫度控制為5℃~60℃。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





