[發明專利]一種大流量高純液化氣體的輸送方法

無效

• 申請號: 201010596149.2
• 申請日: 2010-12-20
• 公開（公告）號: CN102109090A
• 公開（公告）日: 2011-06-29
• 發明（設計）人: 李東升;張敏;龔小雷
• 申請（專利權）人: 上海正帆科技有限公司;上海正帆半導體設備有限公司
• 主分類號: F17D1/04
• 分類號: F17D1/04
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 翁若瑩

技術領域

?本發明涉及一種液化氣體的輸送方法，尤其涉及一種大流量高純液化氣體的輸送方法。

背景技術

高純液化氣體通常是儲存于鋼瓶的液化壓縮氣體，是半導體行業重要的原料氣體，如液氨、液氯等。常具有刺激性、可燃的等特性，其純度一般大于99.999%。高純液化氣體大流量(100升/分鐘以上)的輸送通常是指在大宗特氣供應系統(BSGS)中，采用Y-鋼瓶、T-鋼瓶和ISO?槽車等大包裝容器輸送的場合。其廣泛應用于8”以上超大規模集成電路芯片生產、100MW?以上的太陽能電池片生產、發光二極管MOCVD外延片生產、以及5代以上液晶顯示器生產等行業。

常規輸送方式是通過加熱液化氣體鋼瓶，高純液化氣體在鋼瓶內部蒸發。蒸汽出鋼瓶經調壓，送到車間內部。因受到鋼瓶加熱溫度(<52℃)和加熱面積的限制，這種情況下，鋼瓶的溫度分布常常很不均勻，很容易造成鋼瓶過熱并導致易溶栓啟動，從而導致高純液化氣體泄漏。另外此種傳熱效率通常<40%，鋼瓶剩余量較多，通常有5%-10%。按照消防法規要求，高純液化氣體站通常距離生產車間較遠，需要使用1”或以上的大管徑的管道長距離的輸送氣體，還需要對管線進行加熱，防止高純氣體液化。這種輸送方法管道采購、維護成本高，可操作性差，無法滿足高純液化氣體、大流量的要求。

大宗高純液化氣體供氣系統可充分滿足大流量需求，降低原料采購和現場維護成本，減少氣體輸送設備數量和總投資，很大程度降低容器更換次數，并提升操作安全性，降低污染可能性。但大宗高純液化氣體供應同時也面臨一定挑戰，如大宗氣源通常置于室外，需要考慮溫度、濕度變化對流量、品質和穩定性的影響，需要克服焦耳-湯姆遜效應對系統的影響，對系統可靠性和安全性都有較高的要求。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種大流量高純液化氣體的輸送方法，實現大流量高純液化氣體的輸送需求，并保證其安全性和可操作性。

本發明為解決上述技術問題而采用的技術方案是提供一種大流量高純液化氣體的輸送方法，包括液化氣體儲存模塊、增壓模塊、液化氣體輸送管道、蒸發器和調壓模塊，其中，所述方法依次包括如下步驟：從液化氣體儲存模塊引出液化氣體，使其進入增壓模塊；由增壓模塊打出液化氣體，并通過液化氣體輸送管道輸送到蒸發器；在蒸發器中對液化氣體汽化加熱；加熱后的過熱液化氣體經過調壓模塊，使其壓力降低到工藝需求后輸送至所需機臺。

上述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其中，所述液化氣體儲存模塊為鋼瓶、儲罐或槽車。

上述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其中，所述增壓模塊采用液體泵輸送方式增壓，或者采用具有加熱功能的自增壓裝置，通過加熱增壓將液化氣體輸出。

上述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其中，所述液化氣體輸送管道為1/4?”或3/8?”的小管徑管道。

上述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其中，所述蒸發器為配置有加熱裝置、溫控裝置、安全閥的壓力容器，所述壓力容器底部設置有殘液排放口。

上述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其中，所述調壓模塊為調壓閥組，或者具有調壓功能的緩沖裝置。

上述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其中，從液化氣體儲存模塊引出液化氣體前使用切換吹掃模塊對液化氣體管線進行吹掃。

上述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其中，所述切換吹掃模塊采用電子秤自動切換鋼瓶，采用文丘里真空發生器完成更換鋼瓶前后的吹掃。

上述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其中，所述液化氣體儲存模塊、增壓模塊、液化氣體輸送管道、蒸發器和調壓模塊均采用不銹鋼316L材料，經過電解拋光，采用自動焊接或金屬面密封方式相連。

本發明對比現有技術有如下的有益效果：本發明提供的大流量高純液化氣體的輸送方法，由增壓模塊打出的液化氣體，通過液化氣體輸送管道輸送到蒸發器，采用蒸發器在液化氣體儲存模塊外對液化氣體汽化加熱，避免直接加熱液化氣體儲存模塊，且省去了長距離的氣體輸送，及相應的伴熱系統成本。整個系統遵循本質安全設計要求，使高純液化氣體在鋼瓶外部蒸發，充分滿足大流量高純液化氣體的輸送需求，并保證其安全性和可操作性。

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附圖說明

圖1為本發明大流量高純液化氣體的輸送方法示意圖。

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圖中：

1?液化氣體儲存模塊???????2?切換吹掃模塊????????3?增壓模塊

4?液化氣體輸送管道???????5?蒸發器???????????????6?調壓模塊

具體實施方式