[發明專利]一種大流量高純液化氣體的輸送方法無效
| 申請號： | 201010596149.2 | 申請日： | 2010-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN102109090A | 公開（公告）日： | 2011-06-29 |
| 發明（設計）人： | 李東升;張敏;龔小雷 | 申請（專利權）人： | 上海正帆科技有限公司;上海正帆半導體設備有限公司 |
| 主分類號： | F17D1/04 | 分類號： | F17D1/04 |
| 代理公司： | 上海申匯專利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若瑩 |
| 地址： | 201108 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 流量 高純 液化 氣體 輸送 方法 | ||
1.一種大流量高純液化氣體的輸送方法，包括液化氣體儲存模塊（1）、增壓模塊（3）、液化氣體輸送管道（4）、蒸發器（5）和調壓模塊（6），其特征在于，所述方法依次包括如下步驟：
從液化氣體儲存模塊（1）引出液化氣體，使其進入增壓模塊（3）；?
由增壓模塊（3）打出液化氣體，并通過液化氣體輸送管道（4）輸送到蒸發器（5）；
在蒸發器（5）中對液化氣體汽化加熱；
加熱后的過熱液化氣體經過調壓模塊（6），使其壓力降低到工藝需求后輸送至所需機臺。
2.如權利要求1所述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其特征在于，所述液化氣體儲存模塊（1）為鋼瓶、儲罐或槽車。
3.如權利要求1所述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其特征在于，所述增壓模塊（3）采用液體泵輸送方式增壓，或者采用具有加熱功能的自增壓裝置，通過加熱增壓將液化氣體輸出。
4.如權利要求1所述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其特征在于，所述液化氣體輸送管道（4）為1/4?”或3/8?”的小管徑管道。
5.如權利要求1所述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其特征在于，所述蒸發器（5）為配置有加熱裝置、溫控裝置、安全閥的壓力容器，所述壓力容器底部設置有殘液排放口。
6.如權利要求1所述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其特征在于，所述調壓模塊（6）為調壓閥組，或者具有調壓功能的緩沖裝置。
7.如權利要求1所述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其特征在于，從液化氣體儲存模塊（1）引出液化氣體前使用切換吹掃模塊（2）對液化氣體管線進行吹掃。
8.如權利要求6所述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其特征在于，所述切換吹掃模塊（2）采用電子秤自動切換鋼瓶，采用文丘里真空發生器完成更換鋼瓶前后的吹掃。
9.如權利要求1～7任一項所述的大流量高純液化氣體的輸送方法，其特征在于，所述液化氣體儲存模塊（1）、增壓模塊（3）、液化氣體輸送管道（4）、蒸發模器（5）和調壓模塊（6）均采用不銹鋼316L材料，經過電解拋光，采用自動焊接或金屬面密封方式相連。
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