[發明專利]觸摸屏面板及其制造方法

有效

• 申請號: 201010595920.4
• 申請日: 2010-12-16
• 公開（公告）號: CN102163095A
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發明（設計）人: 全雨植
• 申請（專利權）人: 三星移動顯示器株式會社
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 郭鴻禧;李娜娜

1.一種觸摸屏面板的制造方法，所述方法包括以下步驟：

在透明基底的同一表面上順序地形成透明電極層和絕緣層；

利用半色調掩模將透明電極層和絕緣層共圖案化，從而形成沿著第一方向連接的多個第一感測圖案、具有在所述多個第一感測圖案之間的分開的圖案的多個第二感測圖案及位于第一感測圖案和第二感測圖案上以暴露第二感測圖案的部分區域的絕緣層；

在形成有第一感測圖案、第二感測圖案和絕緣層的透明基底上形成導電層；

將導電層圖案化，從而形成允許通過第二感測圖案的暴露區域沿著第二方向連接的第二連接圖案。

2.根據權利要求1所述的制造方法，其中，利用半色調掩模將透明電極層和絕緣層共圖案化的步驟包括：

利用所述半色調掩模在絕緣層上形成具有第一高度和低于第一高度的第二高度的光致抗蝕劑；

通過蝕刻工藝去除形成在除了光致抗蝕劑的下部之外的其他區域的透明電極層和絕緣層；

通過蝕刻工藝和灰化工藝去除具有第二高度的光致抗蝕劑和位于光致抗蝕劑下方的絕緣層；

通過灰化工藝去除殘留在絕緣層上的光致抗蝕劑。

3.根據權利要求2所述的制造方法，其中，通過蝕刻工藝去除形成在除了光致抗蝕劑的下部之外的其他區域的透明電極層和絕緣層的步驟包括：通過干蝕刻工藝去除絕緣層，然后通過濕蝕刻工藝去除透明電極層，

其中，對透明電極層進行過蝕刻，直到透明電極層的側面比絕緣層的側面更靠內。

4.根據權利要求1所述的制造方法，其中，在利用半色調掩模將透明電極層和絕緣層共圖案化的步驟中，允許第一感測圖案沿著第一方向連接的第一連接圖案與第一感測圖案一體地形成。

5.根據權利要求1所述的制造方法，其中，在將導電層圖案化的步驟中，將第一感測圖案和第二感測圖案連接到外部驅動電路的位置檢測線與第二連接圖案同時形成。

6.一種觸摸屏面板，所述觸摸屏面板包括：

透明基底；

第一感測圖案，通過將第一感測圖案圖案化使第一感測圖案通過第一連接圖案沿著第一方向連接而形成在透明基底的表面上；

第二感測圖案，被圖案化為具有分開的圖案并設置在第一感測圖案之間；

絕緣層，形成在第一感測圖案、第二感測圖案和第一連接圖案上，絕緣層暴露第二感測圖案的部分區域；

第二連接圖案，形成在絕緣層上，第二連接圖案允許第二感測圖案通過第二感測圖案的暴露區域沿著第二方向連接，

其中，對第一連接圖案進行過蝕刻，使得第一連接圖案的側面比絕緣層的側面更靠內。

7.根據權利要求6所述的觸摸屏面板，其中，第二連接圖案通過與第二感測圖案直接接觸允許第二感測圖案沿著第二方向連接。

8.根據權利要求6所述的觸摸屏面板，所述觸摸屏面板還包括將第一感測圖案和第二感測圖案連接到外部驅動電路的位置檢測線，

其中，位置檢測線由與第二連接圖案的材料相同的材料形成。

9.一種具有透明基底的觸摸屏面板，所述觸摸屏面板包括：

第一感測圖案，設置在透明基底上并通過第一連接圖案沿著第一方向連接；

第二感測圖案，設置在透明基底上并通過第二連接圖案沿著第二方向連接；

絕緣層，設置在第一感測圖案和第二感測圖案上，并覆蓋第一感測圖案同時暴露第二感測圖案的部分區域；

其中，第二連接圖案通過第二感測圖案的暴露區域連接第二感測圖案。

10.根據權利要求9所述的觸摸屏面板，其中，第一連接圖案設置在絕緣層的下方，第二連接圖案設置在絕緣層的上方。

11.根據權利要求9所述的觸摸屏面板，其中，絕緣層的設置在第一感測圖案上的部分的側面延伸穿過第一感測圖案的對應的側面。

12.根據權利要求9所述的觸摸屏面板，其中，第二連接圖案通過與第二感測圖案直接接觸而允許第二感測圖案沿著第二方向連接。

13.根據權利要求9所述的觸摸屏面板，所述觸摸屏面板還包括將第一感測圖案和第二感測圖案連接到外部驅動電路的位置檢測線，

其中，位置檢測線由與第二連接圖案的材料相同的材料形成。

14.根據權利要求9所述的觸摸屏面板，其中，第一方向垂直于第二方向。