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[發明專利]具有屏蔽柵的VDMOS結構及其制備方法有效

專利信息
申請號: 201010595051.5 申請日: 2010-12-17
公開(公告)號: CN102569385A 公開(公告)日: 2012-07-11
發明(設計)人: 金勤海;叢茂杰;周穎 申請(專利權)人: 上海華虹NEC電子有限公司
主分類號: H01L29/78 分類號: H01L29/78;H01L29/423;H01L21/336
代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211 代理人: 丁紀鐵
地址: 201206 上*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 具有 屏蔽 vdmos 結構 及其 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種具有屏蔽柵的VDMOS結構,其特征在于:在VDMOS器件的漂移區上設置有屏蔽柵,所述VDMOS器件的控制柵位于所述屏蔽柵的兩邊,且所述控制柵各有一邊疊加在所述屏蔽柵之上,該屏蔽柵與所述控制柵和所述漂移區之間均通過絕緣層隔離。

2.如權利要求1所述的VDMOS結構,其特征在于:所述屏蔽柵設置為懸浮。

3.如權利要求1所述的VDMOS結構,其特征在于:所述屏蔽柵與所述VDMOS器件的源極電連接。

4.如權利要求1至3中任一項所述的VDMOS結構,其特征在于:所述控制柵對稱地疊加在所述屏蔽柵兩邊之上,所述屏蔽柵與所述控制柵重疊的部分可占總屏蔽柵長度的1/10至9/10之間。

5.如權利要求1至3中任一項權利要求所述的VDMOS結構,其特征在于:所述屏蔽柵長度為0.1-100微米之間,所述屏蔽柵的厚度為0.01-5微米。

6.如權利要求1至3中任一項所述的VDMOS結構,其特征在于:所述絕緣層為氧化硅層。

7.一種具有屏蔽柵的VDMOS結構的制備方法,其特征在于,在VDMOS器件的柵氧形成之后,包括如下步驟:

1)淀積第一層多晶硅,光刻刻蝕形成屏蔽柵,所述屏蔽柵位于漂移區之上;

2)在整個硅片表面氧化硅層,所述氧化硅層覆蓋所述屏蔽柵;

3)接著淀積第二層多晶硅,對所述第二層多晶硅進行光刻刻蝕,形成控制柵,所述控制柵位于所述屏蔽柵的兩邊,且所述控制柵各有一邊疊加所述屏蔽柵之上。

8.如權利要求7所述的制備方法,其特征在于:還包括將所述VDMOS器件的源極與所述屏蔽柵形成電連接的步驟。

9.如權利要求7或8所述的制備方法,其特征在于:所述屏蔽柵與所述控制柵重疊的部分為總屏蔽柵長度的1/10-9/10。

10.如權利要求7或8所述的制備方法,其特征在于:所述屏蔽柵的厚度為0.01-5微米。

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