[發明專利]用于載板架的夾具、載板架和基板的固定方法

無效

• 申請號: 201010593927.2
• 申請日: 2010-12-09
• 公開（公告）號: CN102560380A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 朱興華;蘇新虹
• 申請（專利權）人: 北大方正集團有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本發明涉及機械技術領域，尤其涉及一種用于載板架的夾具、載板架和基板的固定方法。

背景技術

在電路板制作過程中，當進行金屬噴濺處理時，所有待處理基板均通過載板架上的夾具固定在載板架上，載板架將待處理基板帶入噴濺腔進行噴濺處理。現有的夾具通常為面式彈片結構，夾具的一端通過螺母固定在載板架上，且通常能夠圍繞固定端的螺母進行轉動。使用時，待處理基板被夾具未固定的一端夾設在夾具和載板架之間。

進行金屬噴濺處理時，由于載板架承載著待處理基板，載板架和待處理基板處于同一種環境，因此，在基板被噴濺上一層金屬膜的同時，載板架及夾具上也將被噴濺上一層金屬膜，而且，夾具和基板上的金屬膜將成片致密連接。這樣，將造成夾具無法靈活轉動或抬起，需通過外力強行將夾具與基板之間的金屬薄膜斷裂以使夾具能夠轉動或抬起后，才能取下基板。而且，如此多次以后，易使夾具產生不可恢復的形變，導致夾具的對基板的固定力量不夠，進行噴濺處理后，易造成基板脫離或移動，導致停機和產品質量隱患。此外，還可能使基板受損。

發明內容

本發明的實施例的主要目的在于，提供一種用于載板架的夾具、載板系統和基板的固定方法，能夠在夾具被噴濺上薄膜后，依然能夠夾緊基板并且靈活移動。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

一種用于載板架的夾具，包括：

夾具主體、銷軸、和彈簧；其中，

所述夾具主體上在第一側面具有凹部，所述凹部的底部具有穿透所述夾具主體的第二側面的通孔，所述通孔的截面最大尺寸小于所述凹部的截面最大尺寸；

所述銷軸具有第一端和第二端，所述第一端設有凸緣，所述第二端能夠穿過所述夾具主體的凹部和通孔固定到所述載板架；

所述彈簧套設在所述銷軸上，并被限制在所述凸緣與所述凹部的底部之間。

一種載板系統，包括：

載板架；和本發明實施例提供的夾具；

其中，所述夾具的第二端能夠穿過所述夾具主體的凹部和通孔而固定到所述載板架，從而能夠將基板夾緊在所述載板架與所述夾具的第二側面之間。

一種基板的固定方法，通過本發明實施例提供的載板系統將所述基板固定在載板架上。

采用上述技術方案后，本發明實施例提供的用于載板架的夾具、載板系統和固定基板的方法，夾具主體通過彈簧與銷軸相連接，在銷軸通過第二端固定在載板架后，夾具主體靜止，在銷軸的軸向方向，夾具主體受到彈簧的彈力作用而將基板夾緊。當夾具主體受到沿銷軸軸向的外力而沿軸向略有移動時，能夠變形的彈簧可隨著夾具主體的移動而相應伸縮而同時保持夾緊基板，即，夾具主體相對載板架能夠靈活移動一段距離。這樣，當對基板進行金屬噴濺處理等鍍膜操作時，在噴濺力沖擊以及薄膜的重力作用下，夾具主體能夠沿銷軸的軸向略有移動，因此，夾具主體與基板之間不會形成牢固成片的致密薄膜，即不會影響夾具主體的靈活移動。而且，夾具主體的移動只是導致彈簧的壓縮量發生稍微改變，不會造成夾緊力的明顯變化，依然能夠夾緊基板。

附圖說明

圖1為本發明實施例的用于載板架的夾具的結構示意圖；

圖2為圖1所示的夾具的夾具主體的結構示意圖；

圖3為圖1所示的夾具的銷軸的結構示意圖。

具體實施方式

本發明提供一種用于載板架的夾具，其特征在于，包括：

夾具主體、銷軸、和彈簧；其中，

所述夾具主體上在第一側面具有凹部，所述凹部的底部具有穿透所述夾具主體的第二側面的通孔，所述通孔的截面最大尺寸小于所述凹部的截面最大尺寸；

所述銷軸具有第一端和第二端，所述第一端設有凸緣，所述第二端能夠穿過所述夾具主體的凹部和通孔而固定到所述載板架；

所述彈簧套設在所述銷軸上，并被限制在所述凸緣與所述凹部的底部之間。

優選地，在本發明的各實施例中，當所述銷軸固定到所述載板架時，所述凸緣與所述凹部底部的距離小于或等于所述彈簧處于自然狀態的長度。這樣，所述夾具可在工作時通過彈簧彈力保持夾緊基板。

優選地，在本發明的各實施例中，所述銷軸的第二端的橫截面形狀為非圓形形狀或半圓形狀。其中，非圓形形狀可為多邊形(例如方形、三角形)或其它適合形狀；而半圓形狀可為圓形的一部分，即，也可為大半圓或小半圓形狀(即，扇區)。這樣，銷軸第二端的形狀可與載板架的對應固定結構的形狀相配合，以防止銷軸以及夾具在工作時發生不希望出現的旋轉。

優選地，在本發明的各實施例中，所述通孔和/或所述凹部的截面為圓形。