[發明專利]用于載板架的夾具、載板架和基板的固定方法

無效

• 申請號: 201010593927.2
• 申請日: 2010-12-09
• 公開（公告）號: CN102560380A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 朱興華;蘇新虹
• 申請（專利權）人: 北大方正集團有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種用于載板架的夾具，其特征在于，包括：

夾具主體、銷軸、和彈簧；其中，

所述夾具主體上在第一側面具有凹部，所述凹部的底部具有穿透所述夾具主體的第二側面的通孔，所述通孔的截面最大尺寸小于所述凹部的截面最大尺寸；

所述銷軸具有第一端和第二端，所述第一端設有凸緣，所述第二端能夠穿過所述夾具主體的凹部和通孔而固定到所述載板架；

所述彈簧套設在所述銷軸上，并被限制在所述凸緣與所述凹部的底部之間。

2.根據權利要求1所述的夾具，其特征在于，當所述銷軸固定到所述載板架時，所述凸緣與所述凹部底部的距離小于或等于所述彈簧處于自然狀態的長度。

3.根據權利要求1或2所述的夾具，其特征在于，所述銷軸的第二端的橫截面形狀為非圓形形狀或半圓形狀。

4.根據前述權利要求中任一項所述的夾具，其特征在于，所述通孔和/或所述凹部的截面為圓形。

5.根據前述權利要求中任一項所述的夾具，其特征在于，所述通孔的截面最大尺寸比所述銷軸的截面最大尺寸大0.2至0.5毫米。

6.根據前述權利要求中任一項所述的夾具，其特征在于，所述銷軸的第二端上設有外螺紋，用于固定到所述載板架。

7.根據前述權利要求中任一項所述的夾具，其特征在于，還包括用于覆蓋所述凹部的凹部蓋。

8.根據權利要求7所述的夾具，其特征在于：所述凹部蓋上設有外螺紋，所述凹部的內壁上設有能夠與所述凹部蓋上的外螺紋相咬合的內螺紋。

9.根據權利要求1所述的夾具，其特征在于：包括絕緣層或助脫膜，其設置在以下中的至少一種上：所述夾具主體的第二側面、所述通孔的內側、所述銷軸的第二端。

10.一種載板系統，其特征在于，包括：

載板架；和如權利要求1至9任一項所述的夾具；

其中，所述夾具的第二端能夠穿過所述夾具主體的凹部和通孔而固定到所述載板架，從而能夠將基板夾緊在所述載板架與所述夾具的第二側面之間。

11.根據權利要求10所述的載板系統，其特征在于：所述載板架上設有架通孔或架凹部，所述夾具的銷軸的第二端穿過所述夾具主體的通孔后通過所述架通孔或架凹部而固定到所述載板架。

12.根據權利要求11所述的載板架，其特征在于：所述架通孔或架凹部的內壁上設有內螺紋，用于固定所述夾具的銷軸的第二端。

13.根據權利要求10或11所述的載板架，其特征在于：所述架通孔或架凹部的橫截面形狀與所述第二端的橫截面形狀相對應，且為非圓形形狀或半圓形狀。

14.一種基板的固定方法，其特征在于，通過如權利要求10至13任一項所述的載板系統將所述基板固定在載板架上。