[發(fā)明專利]單晶硅生長(zhǎng)用石英坩堝的兩步制備法及裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010593772.2
• 申請(qǐng)日: 2010-12-17
• 公開（公告）號(hào): CN102557400A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張洪齊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 羅萬前
• 主分類號(hào): C03B20/00
• 分類號(hào): C03B20/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明公開了一種單晶硅生長(zhǎng)用石英坩堝的兩步制備法及裝置，屬半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

生產(chǎn)單晶硅時(shí)，全部采用石英坩堝做盛裝高溫硅熔融體的容器.現(xiàn)有的石英坩堝在制造時(shí)均用電弧法生產(chǎn)，此法生產(chǎn)過程中能耗大，噪聲高而質(zhì)量不高。近二十年，不少人都在努力尋找新的坩堝生產(chǎn)方法，方案很多，但因存在各種問題，均未能最后成功。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是找到一種單晶硅生長(zhǎng)用石英坩堝的新制備方法及裝置。此法生產(chǎn)坩堝時(shí)，過程中能耗低、噪聲小，產(chǎn)品的質(zhì)量好。

本發(fā)明采用兩步法生產(chǎn)此石英坩堝：石英坩堝的制備分兩步進(jìn)行，第一步，利用石英玻璃連續(xù)電熔爐，拉制與坩堝直徑相同的石英玻璃管；第二步，截?cái)啻斯芎螅匆话悴ＡЧ懿挠没鹧婕訜崾湛诜忸^相似的工藝，在專用火焰收口封底裝置上，對(duì)截?cái)嗟氖⒉ＡЧ苓M(jìn)行火焰收口封底，封底后的制品即為所需的石英坩堝。

本發(fā)明中的專用程序火焰收口封底裝置由機(jī)架，位于機(jī)架之上、與待加工的坩堝同軸、可自轉(zhuǎn)、可軸向移動(dòng)、帶密封圈、帶氣道的兩段外型與坩堝內(nèi)壁吻合的石墨芯模，數(shù)組可軸問移動(dòng)、可徑向移動(dòng)和擺動(dòng)的環(huán)形多個(gè)燃燒頭組成的燃?xì)饧訜崛统椤⒊錃庀到y(tǒng)組成。

本發(fā)明的坩堝及制備法有如下優(yōu)點(diǎn)：

1，本制備法所采用的各個(gè)分工序均是現(xiàn)有的成熟工藝。

2，本法制備的坩堝，其內(nèi)在質(zhì)量和外形尺寸比現(xiàn)有的電弧法產(chǎn)品更容易控制好。

3，本法在生產(chǎn)過程中對(duì)原料的利用率高(可近于到100％)；噪聲小；粉塵少；能耗低很多。

本發(fā)明生產(chǎn)的石英玻瑞坩堝質(zhì)量好，生產(chǎn)過程節(jié)能，環(huán)保，此二步制備法將能完全替代現(xiàn)有的石英坩堝的電弧生產(chǎn)法。

發(fā)明附圖

圖1為本發(fā)明的專用火焰收口封底裝置的示意圖

發(fā)明具體實(shí)施

以下是本發(fā)明的一個(gè)具體實(shí)施例：

本實(shí)施例中，專用火焰收口封底裝置由機(jī)架(7)，位于機(jī)架之上、與待加工的坩堝(2)同軸(5)、可自轉(zhuǎn)、可軸向移動(dòng)、帶密封圈(3)、帶氣道的兩段外形與坩堝內(nèi)壁吻合的石墨芯模(4)，數(shù)組可轉(zhuǎn)動(dòng)、可軸問移動(dòng)、可徑向移動(dòng)和擺動(dòng)的環(huán)形、多個(gè)燃燒頭組成的燃?xì)饧訜崛?1)和抽、充氣系統(tǒng)(6)組成。

其制備方法為：

1，首先利用專利申請(qǐng)?zhí)枮?01010204350.1的內(nèi)熱式石英玻璃連續(xù)電熔爐，直接生產(chǎn)與坩堝口徑相同的石英玻璃管；

2，截?cái)啻斯埽瑢⒉孟碌墓芊旁趯Ｓ没鹧媸湛诜獾籽b置上，再按一般玻璃管材用火焰加熱收口封頭相似的工藝，對(duì)管進(jìn)行收口封底，封底后的制品即為所需的單晶硅生長(zhǎng)用石英玻璃坩堝。

本實(shí)施例中，利用石英玻璃連續(xù)電熔爐，生產(chǎn)與石英坩堝直徑相同的石英玻璃管，截?cái)啻斯芎螅侔匆话悴ＡЧ懿挠没鹧婕訜崾湛诜忸^相似的工藝，在專用火焰收口封底裝置上，對(duì)截?cái)嗟牟９苓M(jìn)行火焰收口封底，封底后的石英制品即單晶硅生長(zhǎng)用石英坩堝。