[發(fā)明專利]單晶硅生長(zhǎng)用石英坩堝的兩步制備法及裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010593772.2
• 申請(qǐng)日: 2010-12-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102557400A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張洪齊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 羅萬(wàn)前
• 主分類號(hào): C03B20/00
• 分類號(hào): C03B20/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.單晶硅生長(zhǎng)用石英坩堝的兩步制備法及裝置，其特征在于：石英坩堝的制備分兩步進(jìn)行，第一步，利用石英玻璃連續(xù)電熔爐，拉制與坩堝直徑相同的石英玻璃管；第二步，截?cái)啻斯芎螅匆话闶⒉ＡЧ懿挠没鹧婕訜崾湛诜忸^相似的工藝，在專用火焰收口封底裝置上，對(duì)截?cái)嗟牟ＡЧ苓M(jìn)行火焰收口封底，封底后的制品即為所需的石英坩堝。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅生長(zhǎng)用石英坩堝的兩步制備法及裝置，其特征在于：拉制石英玻璃管時(shí)，首先采用申請(qǐng)?zhí)枮?01010204350.1的內(nèi)熱式石英玻璃連續(xù)電熔爐。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅生長(zhǎng)用石英坩堝的兩步制備法及裝置，其特征在于：專用火焰收口封底機(jī)由機(jī)架(7)，位于機(jī)架之上、與待加工的坩堝(2)同軸(5)、可自轉(zhuǎn)、可軸向移動(dòng)、帶密封圈(3)、帶氣道的兩段外形與坩堝內(nèi)壁吻合的石墨芯模(4)，數(shù)組可轉(zhuǎn)動(dòng)、可軸問(wèn)移動(dòng)、可徑向移動(dòng)和擺動(dòng)的環(huán)形、多個(gè)燃燒頭組成的燃?xì)饧訜崛?1)和抽、充氣系統(tǒng)(6)組成。