[發明專利]晶圓代工機臺超純水回收方法及系統

無效

• 申請號: 201010593415.6
• 申請日: 2010-12-17
• 公開（公告）號: CN102184841A
• 公開（公告）日: 2011-09-14
• 發明（設計）人: 吳海岑
• 申請（專利權）人: 無錫華潤上華半導體有限公司;無錫華潤上華科技有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 宋松

技術領域

本發明涉及一種超純水回收方法及系統，尤其是一種應用于半導體制程Wetbench/CMP機臺的超純水回收方法及系統。

背景技術

一般而言，CMP(Chemical?Mechanical?Planarization，化學機械平坦化)所使用的研磨液都是水溶液、二氧化硅或氧化鐵(或其它物質)形成的懸浮液，在氧化物的拋光機制中，水扮演了很重要的角色，濕式工藝中常采用的APM溶液一般是氫氧化銨、過氧化氫和水的混合物，用于制程過程中的清洗。目前在生產過程中，濕法機臺使用過后的水均排入FAB廠廢水處理系統，但在實際的生產過程中，濕法機臺各個處理槽所排水的氨氮或氟含量并不是相同的，存在著相當大的差異，如Wet?bench機臺APM槽超聲波清洗(Mega?sonic)排水中的氨氮含量很低，經取樣后證實幾乎為零，但該排水在機臺內部固化為排放至氨氮處理系統；QDR槽(Quick?Dump?Rinse?Tank快速清洗排水槽)排水中氨氮含量在晶片剛進入時最高，在出槽時最低，目前只是粗略依據清洗時間決定排入氨氮處理系統還是超純水回水系統，以上種種，一方面造成氨氮處理系統負荷和運行成本增加，另一方面使制程水回收率降低，并造成可回收純水的浪費。

發明內容

針對以上缺陷，本發明的目的是提供一種晶圓代工機臺超純水回收方法及系統，可有效解決以上存在的問題。

為實現上述目的，本發明通過以下技術方案實現：

一種晶圓代工機臺超純水回收方法，對晶圓代工機臺外輸廢水采用傳感器檢測其水質，經控制系統判斷后控制閥門使相應管路導通，使符合超純水回收標準的進入超純水回收系統；否則進行入廢水處理系統。

根據對回收超純水所需參數的要求不同，傳感器可采用電導率計或PH計。

所述控制系統在現場采用PLC作為控制器，數據可上傳至中控室SCADA系統。

同時提供一種采用上述方法的晶圓代工機臺超純水回收系統，包括檢測水質的傳感器、控制系統、控制閥門和分別與超純水回收系統和廢水處理系統相連的并聯管路，控制系統根據傳感器測得的數據控制閥門，使晶圓代工機臺外輸廢水進入相應的管路；所述傳感器采用電導率計或PH計；所述控制系統在現場采用PLC作為控制器；所述控制閥門為氣動閥或電動閥；所述廢水為氨氮廢水、含氟廢水或一般酸廢水；所述晶圓代工機臺為Wet?bench、CMP或Diff的tuber?washer、parts?clean機臺。

本發明所述的晶圓代工機臺超純水回收方法及系統，由控制系統根據傳感器測得的數據控制閥門，使晶圓代工機臺外輸廢水進入相應的管路，從而實現了符合回收標準的超純水得以進入超純水回收系統，處理后重新使用，能夠使濕機臺廢水合理分流，降低了廢水處理系統處理負荷和運行成本，同步提高制程純水回收率，節約了用水。

附圖說明

下面根據實施例與附圖對本發明作進一步詳細說明。

圖1是本發明所述晶圓代工機臺超純水回收系統的一個具體實施例。

圖中：

1、QDR槽；2、APM槽；3、濕法機臺；4、電導率計；5、管路；6、PLC控制器；7、SCADA系統；8、氣動閥。

具體實施方式

如圖1所示，給出了本發明所述濕法機臺超純水回收系統的一個具體實施例。其所采用的方法為：對濕法機臺外輸廢水采用傳感器檢測其水質，經控制系統判斷后控制閥門使相應管路導通，使符合超純水回收標準的進入超純水回收系統；否則進入氨氮處理系統。具體如下：

濕機臺3內的QDR槽1和APM槽2的廢水均引入管路5，管路5上安裝有在線檢測水質情況的電導率計4，對管路中的廢水水質的電導率數值實時進行檢測，并輸入現場安裝的PLC控制器6，并且可進一步上傳至中控室SCADA系統7進行監控；分別與超純水回收系統和氨氮處理系統相連的并聯管路均同管路5連接，并各自串接有氣動閥8，氣動閥8在PLC控制器6的作用下進行啟閉，當電電導率計4測得廢水電導率值達到可回收超純水指標時，與超純水回收系統相連的氣動閥8開啟，廢水流入超純水回收系統進行再處理；否則氨氮處理系統相連的氣動閥8開啟，廢水流入氨氮處理系統進行處理。

上述實施例中所采用的電導率計，根據對回收超純水所需參數的要求不同，傳感器可選用電導率計或PH計，并以相應測得的數值作為氣動閥8控制廢水排放去向的依據，將廢水合理分流，從而可降低氨氮廢水處理系統的處理負荷和運行成本，提高制程水回收率、節約用水。

以上顯示和描述了本發明的主要特征以及所具有的優點，本行業的技術人員應該了解，本發明不受上述實施例的限制，所述方法可應用于Wet?bench、CMP或Diff的tuber?washer、parts?clean機臺，在不脫離本發明主旨和范圍的前提下本發明還會有一些變化與改進，如改變控制器的類型，采用電動閥代替氣動閥等，這些變化和改進都落入本發明要求保護的范圍內。