[發(fā)明專利]連續(xù)直寫納米粒子溶液的掃描探針及其制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010591933.4
• 申請日: 2010-12-17
• 公開（公告）號: CN102565460A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 彭倍
• 申請（專利權(quán)）人: 彭倍
• 主分類號: G01Q60/38
• 分類號: G01Q60/38;B81B1/00;B81C1/00
• 代理公司: 成都立信專利事務(wù)所有限公司 51100
• 代理人: 江曉萍

1.連續(xù)直寫納米粒子溶液的掃描探針，包括有探針針尖和懸臂梁的硅基底，位于探針針尖周邊與探針針尖之間有環(huán)形針尖微通道從而與探針針尖形成火山口式結(jié)構(gòu)的環(huán)形外殼，探針針尖頂端伸出環(huán)形外殼外，懸臂梁遠離探針針尖的一端上有貯液槽，位于懸臂梁內(nèi)的輸送微通道的兩端分別與環(huán)形針尖微通道、貯液槽連通，探針針尖頂端直徑為16～22nm。

2.如權(quán)利要求1所述的連續(xù)直寫納米粒子溶液的掃描探針，其特征在于探針針尖頂端伸出環(huán)形外殼0.8～1.2μm，環(huán)形外殼壁厚480～520nm，環(huán)形針尖微通道間隙為480～520nm，輸送微通道的直徑為0.8～1.2mm。

3.如權(quán)利要求2所述的連續(xù)直寫納米粒子溶液的掃描探針，其特征在于探針針尖頂端直徑為20nm且伸出環(huán)形外殼1μm，環(huán)形外殼壁厚500nm，環(huán)形針尖微通道間隙為500nm，輸送微通道的直徑為1mm。

4.如權(quán)利要求1～3之一所述的連續(xù)直寫納米粒子溶液的掃描探針，其特征在于貯液槽形狀為梯形。

5.權(quán)利要求1所述的連續(xù)直寫納米粒子溶液的掃描探針的制造方法，其特征在于該方法包括如下步驟：

1）在硅基底上利用KOH溶液刻蝕出掃描探針針尖原型，再氧化針尖，刻蝕氧化層使針尖銳化，使針尖直徑達到16—22nm；

2）在硅基底上依次分別沉積：

（1）0.25—0.30mm氮化硅薄膜，并刻蝕一個開口使其與背面貯液槽連通；

（2）0.4—0.5mm二氧化硅犧牲層；

（3）0.25—0.5mm氮化硅薄膜；

?????3）在掃描探針左側(cè)部分刻蝕出微通道開口，然后利用CF₄溶液刻蝕氧化硅犧牲層，形成微通道；

?????4）在微通道開口兩端沉積一層0.25～0.35μm的氮化硅薄膜，將微通道開口密封；

?????5）刻蝕微通道開口處多余氮化硅薄膜，在KOH溶液中，利用各向異性刻蝕技術(shù)在硅基底背面刻蝕出貯液槽，即成。