[發明專利]一種磁控靶布氣結構

無效

• 申請號: 201010585115.3
• 申請日: 2010-12-13
• 公開（公告）號: CN102534521A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 王福同;郭東民;徐剛;馮彬;安赟;佟輝;張以忱;劉定文;佟雷;楊穎
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司;中科能（青島）節能工程有限公司;南車四方車輛有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種磁控靶布氣結構，其特征在于：包括靶座(9)、極靴(12)、靶材(7)、磁鋼及屏蔽罩(6)，其中靶座(9)位于樣品(1)的下方，在靶座(9)內設有極靴(12)，靶座(9)的頂部安裝有靶材(7)，靶座(9)及靶材(7)外設有屏蔽罩(6)；所述磁鋼安裝在極靴(12)上，磁鋼的上端面沿軸向截面為斜角；在屏蔽罩(5)與靶座(9)之間設有濺射氣體通道(16)，濺射氣體通過該濺射氣體通道(16)被引導至靶材(7)的上表面；在屏蔽罩(5)的外部設有反應氣體的進氣管(4)，反應氣體通過該進氣管(4)被引導至樣品(1)的下表面。

2.按權利要求1所述的磁控靶布氣結構，其特征在于：所述磁鋼包括圍成方環的第一磁鋼(10)及將方環分隔成兩部分的第二磁鋼(11)，第一磁鋼(10)內表面的上端為倒角，第二磁鋼(11)的頂端的兩側分別倒角，在軸向截面上，第二磁鋼(11)頂端的兩個斜邊分別與兩側的第一磁鋼(10)內表面上端的斜邊相傾斜。

3.按權利要求1所述的磁控靶布氣結構，其特征在于：所述磁鋼包括第一磁鋼(10)及第二磁鋼(11)，第一磁鋼(10)為圓環形，其外表面為圓柱，內表面的底端為圓柱，頂端為錐面；所述第二磁鋼位于第一磁鋼(10)內的中間位置，第二磁鋼(11)的頂端為錐臺形，在軸向截面上，第二磁鋼(11)錐臺的兩個斜邊分別與第一磁鋼(10)錐面的兩個斜邊相傾斜。

4.按權利要求1所述的磁控靶布氣結構，其特征在于：所述靶座(9)的底部開有進氣口(13)，該進氣口(13)的一端為進氣端，另一端與設置在靶座(9)內的總管道(18)相連，該總管道(18)通過多個第一氣孔(15)與濺射氣體通道(16)連通。

5.按權利要求3所述的磁控靶布氣結構，其特征在于：所述進氣口(13)為一個或多個；第一氣孔(15)的直徑小于總管道(18)的直徑。

6.按權利要求1所述的磁控靶布氣結構，其特征在于：所述靶座(9)的頂部設有靶座上蓋(8)，靶材(7)通過中間開孔的靶材壓蓋(6)安裝在靶座上蓋(8)上。

7.按權利要求1所述的磁控靶布氣結構，其特征在于：所述靶座(9)的兩側分別設有固定板(2)，每個固定板(2)頂部的內壁均固接有掛鉤(3)，進氣管(4)安裝在掛鉤(3)上，在進氣管(4)上開有朝向樣品(1)下表面的第二氣孔(17)。

8.按權利要求1所述的磁控靶布氣結構，其特征在于：所述靶座(9)內設有循環冷卻水通道。