[發明專利]基板輸送裝置和基板處理系統

有效

• 申請號: 201010576268.1
• 申請日: 2010-12-01
• 公開（公告）號: CN102163569A
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發明（設計）人: 駒田秀樹
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/00
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發明涉及基板輸送裝置和基板處理系統。

背景技術

在以液晶顯示器(LCD)為代表的FPD的制造過程中，在真空狀態下對作為被處理體的玻璃基板等基板實施蝕刻、成膜等的各種處理。在FPD的制造中，使用具有多個作為基板處理室的加工室、即多室型的基板處理系統。這種基板處理系統具有配置有用于輸送基板的基板輸送裝置的輸送室和在該輸送室的周圍設置的多個加工室。而且，通過輸送室內的基板輸送裝置向各個加工室內搬入基板，或者從各個加工室中搬出處理過的基板。在基板的輸送中，通常使用具有多個支撐被稱為樣片(pick)的基板的支撐部件的叉子狀的基板保持件。

近年來，為了提高生產效率，FPD用的基板不斷向大型化發展，保持它們的基板保持件也在大型化中。為了在基板保持件上保持大型基板的狀態下能夠進行旋轉等的操作，輸送室也必須進行大型化。但是，在真空狀態中輸送基板的真空輸送室的情況下，需要保持僅僅對抗大氣壓的機械強度，大型化不斷接近界限。所以，在專利文獻1中，在避免輸送室的大型化的同時，以減輕對驅動機構的負擔為目的，提出了具有在基板上能夠滑動地設置的多個第一支撐部件和在該第一支撐部件上能夠滑動地設置的多個第二部件的基板保持件的方案。該專利文獻1的基板保持件通過兩階的滑動機構，在確保交接基板時需要的行程的同時，在輸送室內能夠使第一和第二的支撐部件退避而緊湊地收納基板保持件，所以能夠避免輸送室的大型化。

專利文獻1：日本特開2009-4661號公報

發明內容

在如專利文獻1那樣在基板保持件上采用滑動的機構情況下，由于在真空容器的內部進行使部件和部件滑動的動作，所以具有在滑動部位容易產生顆粒等的污染源物質的隱患。從而，需要采取即使在基板保持件的滑動部位產生顆粒等的污染源物質，也不會附著在基板上的預防措施。

本發明是基于以上實際情況而提出的，其目的在于，在基板輸送裝置中，極力防止由于顆粒等污染源物質導致基板的污染。

為了解決上述課題，本發明的第一觀點的基板輸送裝置是支撐并輸送基板的基板輸送裝置，其具有：第一部件；相對于該第一部件設能夠滑動地置的用于支撐基板的第二部件；和構成為在使所述第二部件滑動的滑動部位與外部的基板輸送空間之間形成窄路的形狀的、用于防止在所述滑動部位產生的污染源物質向所述基板輸送空間擴散的擴散防止部件。

另外，在本發明的第二觀點中，基板輸送裝置是通過具有多個支撐部件的基板保持件支撐并輸送基板的基板輸送裝置，所述支撐部件具有：主體；相對于該主體能夠滑動地設置的支撐基板的可動部件；和構成為在使所述可動部件滑動的部位和外部的基板輸送空間之間形成窄路的形狀的、用于防止在所述滑動部位產生的污染源物質向所述基板輸送空間擴散的擴散防止部件。

在本方面的第二觀點的基板輸送裝置中，在所述主體中，以在與所述可動部件的滑動方向正交的方向上伸出的方式設置有擴散防止部件。另外，以覆蓋所述可動部件的側面的一部分或者全部的方式設置有所述擴散防止部件。并且，所述擴散防止部件具有底壁部和從該底壁部立起設置的、覆蓋所述可動部件的一部分或者全部的側壁部。所述可動部件包括具有支撐基板的支撐面的支撐部和從該支撐部向兩側下方垂下的一對折彎側板部，以從外側覆蓋所述請按去側板部的至少下端的方式接近地設置有所述擴散防止部件。另外，所述主體具有能夠引導所述可動部件滑動的引導部件，在所述主體的長度方向上，以該引導部件的長度的以上的長度設置有所述擴散防止部件。進一步地，以包圍所述引導部件的端部的方式，在所述主體上設置有一對圍繞部件。

另外，在本發明的第三觀點中，基板輸送裝置是通過具有多個支撐部件的基板保持件支撐并輸送基板的基板輸送裝置，其包括：支撐在水平方向上能夠滑動地支撐所述基板保持件的滑動基部，構成為在使所述基板保持件滑動的滑動部位和外部的基板輸送空間之間形成窄路的形狀的、用于防止在所述滑動部位產生的污染源物質向所述基板輸送空間擴散的擴散防止部件。

在本發明的第三觀點的基板輸送裝置中，在所述滑動基部中，在以在與所述基板保持件的滑動方向正交的方向上伸出的方式設置有所述擴散防止部件。另外，所述基板保持件具有與所述滑動基部的之間能夠滑動地連接的連接部件。另外，以覆蓋所述連接部件的側面的一部分或者全部的方式接近地設置有所述擴散防止部件。另外，所述滑動基部具有能夠引導所述連接部件滑動的引導部件，在所述滑動基部的長度方向上，以該引導部件的長度以上的長度設置有所述擴散防止部件。