[發明專利]基板輸送裝置和基板處理系統

有效

• 申請號: 201010576268.1
• 申請日: 2010-12-01
• 公開（公告）號: CN102163569A
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發明（設計）人: 駒田秀樹
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/00
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種基板輸送裝置，其支撐并輸送基板，其特征在于，包括：

第一部件；

相對于該第一部件能夠滑動地設置的、支撐基板的第二部件；和

構成為在使所述第二部件滑動的滑動部位和外部的基板輸送空間之間形成窄路的形狀，用于防止在所述滑動部位產生的污染源物質向所述基板輸送空間擴散的擴散防止部件。

2.一種基板輸送裝置，其通過具有多個支撐部件的基板保持件支撐并輸送基板，其特征在于：

所述支撐部件具有：

主體；

相對于該主體能夠滑動地設置的、支撐基板的可動部件；和

構成為在使所述可動部件滑動的部位和外部的基板輸送空間之間形成窄路的形狀，用于防止在所述滑動部位產生的污染源物質向所述基板輸送空間擴散的擴散防止部件。

3.如權利要求2所述的基板輸送裝置，其特征在于：

在所述主體上，以在與所述可動部件的滑動方向正交的方向上伸出的方式設置有所述擴散防止部件。

4.如權利要求3所述的基板輸送裝置，其特征在于：

以覆蓋所述可動部件的側面的一部分或者全部的方式設置有所述擴散防止部件。

5.如權利要求4所述的基板輸送裝置，其特征在于：

所述擴散防止部件具有底壁部和從該底壁部立起設置并覆蓋所述可動部件的側面的一部分或者全部的側壁部。

6.如權利要求5所述的基板輸送裝置，其特征在于：

所述可動部件包括具有支撐基板的支撐面的支撐部和從該支撐部向兩側下方垂下的一對折彎側板部，

以從外側至少覆蓋所述折彎側板部的下端的方式，與所述折彎側板部接近地設置有所述擴散防止部件。

7.如權利要求6所述的基板輸送裝置，其特征在于：

所述主體具有能夠滑動地引導所述可動部件的引導部件，在所述主體的長度方向上，以該引導部件的長度以上的長度設置有所述擴散防止部件。

8.如權利要求7所述的基板輸送裝置，其特征在于：

以包圍所述引導部件的端部的方式，在所述主體上設置有一對圍繞部件。

9.一種基板輸送裝置，其通過具有多個支撐部件的基板保持件支撐并輸送基板，其特征在于：包括

在水平方向上能夠滑動地支撐所述基板保持件的滑動基部；和

構成為在使所述基板保持件滑動的滑動部位和外部的基板輸送空間之間形成窄路的形狀，用于防止在所述滑動部位產生的污染源物質向所述基板輸送空間擴散的擴散防止部件。

10.如權利要求9所述的基板輸送裝置，其特征在于：

在所述滑動基部，以在與所述基板保持件的滑動方向正交的方向上伸出的方式設置有所述擴散防止部件。

11.如權利要求9或10所述的基板輸送裝置，其特征在于：

所述基板保持件具有與所述滑動基部之間能夠滑動地連接的連接部件。

12.如權利要求11所述的基板輸送裝置，其特征在于：

以覆蓋所述連接部件的側面的一部分或者全部的方式，與所述連接部件接近地設置有所述擴散防止部件。

13.如權利要求12所述的基板輸送裝置，其特征在于：

所述滑動基部具有能夠滑動地引導所述連接部件的引導部件，在所述滑動基部的長度方向上，以該引導部件長度以上的長度設置有所述擴散防止部件。

14.如權利要求1至10中任一項所述的基板輸送裝置，其特征在于：

在所述擴散防止部件的內壁面具有吸附材料層。

15.如權利要求14所述的基板輸送裝置，其特征在于：

所述吸附材料層由粘著性部件構成。

16.如權利要求14所述的基板輸送裝置，其特征在于：

所述吸附材料層由吸液性部件構成。

17.一種基板處理系統，其特征在于：

具有權利要求1至10中任一項所述的基板輸送裝置。