[發明專利]一種用于太陽能電池的擴散方法

有效

• 申請號: 201010570371.5
• 申請日: 2010-12-02
• 公開（公告）號: CN102487100A
• 公開（公告）日: 2012-06-06
• 發明（設計）人: 汪琴霞;郭建東;楊征;黃炯鈺;梁慧玨;李玲玲
• 申請（專利權）人: 浚鑫科技股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C30B31/06;C30B31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明

1.一種用于太陽能電池的擴散方法，其特征在于，包括：

A、將硅片放入擴散爐中，升溫至840°～850°；

B、經擴散爐管向擴散爐通入體積比為0.5∶1的小氮和氧氣，同時通入預設含量擴散爐內溫度保持840°～850°，時間t1為10～20分鐘；

C、經擴散爐管向擴散爐通入體積比為0.7∶1.2的小氮和氧氣，同時通入預設含量的氮氣，擴散爐內溫度保持850°～860°，時間t2為5～15分鐘；

D、經擴散爐管向擴散爐通入體積比為1∶1.2的小氮和氧氣，同時通入預設含量的氮氣，擴散爐內溫度保持860°～870°，時間t3為5～10分鐘；

E、擴散過程結束，在擴散爐降溫后取出硅片。

2.根據權利要求1所述的擴散方法，其特征在于，步驟A中，擴散爐中溫度為845°。

3.根據權利要求2所述的擴散方法，其特征在于，步驟B中，擴散爐中溫度為855°。

4.根據權利要求3所述的擴散方法，其特征在于，步驟C中，擴散爐中溫度為865°。

5.根據權利要求1所述的擴散方法，其特征在于，t1＝15分鐘。

6.根據權利要求1所述的擴散方法，其特征在于，t2＝10分鐘。

7.根據權利要求1所述的擴散方法，其特征在于，所述預設含量為5-10L。

8.根據權利要求7所述的擴散方法，其特征在于，所述預設含量為8L。