[發明專利]一種具有軸端動密封結構的干式真空泵

有效

• 申請號: 201010565680.3
• 申請日: 2010-11-30
• 公開（公告）號: CN101985939A
• 公開（公告）日: 2011-03-16
• 發明（設計）人: 岳向吉;巴德純;劉坤;王光玉;張振厚
• 申請（專利權）人: 東北大學;中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C27/00
• 代理公司: 沈陽東大專利代理有限公司 21109
• 代理人: 崔蘭蒔

技術領域

本發明涉及干式真空泵，具體涉及一種具有軸端動密封結構的干式真空泵。

背景技術

目前的干式真空泵動密封雖然有采用骨架密封和迷宮密封組合式密封的形式，但尚不能完全實現雙向密封，無法控制油蒸氣進入泵腔或防止腐蝕性氣體及顆粒對軸承的影響。為提高泵腔的無油程度，有在齒輪室另設真空泵進行排氣以降低齒輪室壓力的結構安排；也有在軸承座處噴吹氮氣以形成一個高壓區，阻止腐蝕性氣體及微粒靠近軸承的結構設計，但都無法防止油蒸氣進入泵腔，也不能阻止有害氣體及顆粒對軸承的腐蝕或損壞。

發明內容

針對目前干式真空泵所存在的問題，本發明提供一種具有軸端動密封結構的干式真空泵，有效的防止油蒸氣進入泵腔，提高泵的極限壓力和縮短抽氣時間，又防止有害氣體及顆粒對軸承的腐蝕或損壞。

本發明具有軸端動密封結構的干式真空泵，包括電機、主軸和從動軸，主軸上裝配有主動齒輪，與主動齒輪相嚙合的從動齒輪裝配在從動軸上，在主軸和從動軸上裝有至少三組轉子，轉子組之間用隔板隔開，中間轉子所在的腔為一級腔體，中間轉子兩側的轉子所在的腔為二級腔體，二級腔體對稱分布在一級腔體的兩側，二級腔體兩側的轉子所在的腔為三級腔體，在主軸和從動軸兩端分別裝配有軸承，要點在于所述的軸承與軸肩接觸面一側的臺階上依次設置有骨架密封和迷宮密封，骨架密封和迷宮密封之間的空間又形成氣體密封,在一級腔體頂部的泵殼上開有一進氣口，在兩端最外側腔體底部的泵殼上各開有一排氣孔，兩個排氣孔通過排氣流道與排氣口相通。

所述的干式真空泵各泵腔內的工作壓力沿軸向呈V型分布。

所述的干式真空泵腔體為2級～6級，對應的轉子組數為3組～11組。

本發明與現有技術相比較顯著的特點和產生的有益效果是：由于本申請技術方案中，將骨架密封、氣體密封和迷宮密封相組合，可有效防止油蒸氣向泵腔的泄漏，也使有害氣體和顆粒無法接近軸承，同時各級腔體的工作壓力沿軸向呈V型分布，位于兩側的泵腔工作壓力最高，有效的提高雙向動密封效果，從而提高了多級干式真空泵的無油程度、抽氣性能和使用壽命。

附圖說明

圖1為本發明的主視圖；

圖2為圖1的左視圖；

圖3為本發明的軸端密封結構示意圖；

圖中：1軸承端蓋、2左端封板、3三級腔體、4二級腔體、5一級腔體、6進氣口、7排氣口、8隔板、9主軸、10從動軸、11主動齒輪、12從動齒輪、13電機、14軸承、15骨架密封、16氣體密封、17惰性氣體充入流道、18迷宮密封、19右端封板、20齒輪室蓋、21轉子、22排氣流道、23排氣孔、24泵殼、25泵壁板、26惰性氣體流道口。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明做進一步說明。

例1.本發明具有軸端動密封結構的干式真空泵，包括電機13，主軸9，在主軸9上裝配有主動齒輪11，與主動齒輪11相嚙合的從動齒輪12裝配在從動軸10上，在主軸9和從動軸10上均裝有五組轉子21，轉子組之間用隔板8隔開，氣孔位于左端封板2和右端封板19上，在主軸9和從動軸10的兩端裝配有軸承14，軸承14與軸肩接觸面一側的臺階上依次設置有骨架密封15和迷宮密封18，骨架密封15和迷宮密封18之間的空間又形成氣體密封16,中間轉子21所在的腔為一級腔體5，中間轉子21兩側的轉子所在的腔為二級腔體4，二級腔體4對稱分布在一級腔體5的兩側，二級腔體4兩側的轉子所在的腔為三級腔體3，一級腔體5頂部的泵殼24上開有一進氣口6，在兩側三級腔體3底部的泵殼24上各開有一排氣孔23，兩個排氣孔23通過排氣流道22與排氣口7相通，電機13通過螺栓與齒輪室蓋20相連，齒輪室蓋20通過螺栓固定在右端封板19上，右端封板19通過螺栓與泵壁板25相連接，左端封板2通過螺栓裝配在泵殼24上，軸承端蓋1通過螺栓固定在左端封板2上。