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[發(fā)明專利]一種具有軸端動密封結(jié)構(gòu)的干式真空泵有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201010565680.3 申請日: 2010-11-30
公開(公告)號: CN101985939A 公開(公告)日: 2011-03-16
發(fā)明(設(shè)計)人: 岳向吉;巴德純;劉坤;王光玉;張振厚 申請(專利權(quán))人: 東北大學(xué);中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司
主分類號: F04C25/02 分類號: F04C25/02;F04C27/00
代理公司: 沈陽東大專利代理有限公司 21109 代理人: 崔蘭蒔
地址: 110819 遼寧*** 國省代碼: 遼寧;21
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 具有 軸端動 密封 結(jié)構(gòu) 真空泵
【權(quán)利要求書】:

1.一種具有軸端動密封結(jié)構(gòu)的干式真空泵,?包括電機、主軸和從動軸,主軸上裝配有主動齒輪,與主動齒輪相嚙合的從動齒輪裝配在從動軸上,在主軸和從動軸上裝有至少三組轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子組之間用隔板隔開,中間轉(zhuǎn)子所在的腔為一級腔體,中間轉(zhuǎn)子兩側(cè)的轉(zhuǎn)子所在的腔為二級腔體,二級腔體對稱分布在一級腔體的兩側(cè),二級腔體兩側(cè)的轉(zhuǎn)子所在的腔為三級腔體,在主軸和從動軸兩端分別裝配有軸承,其特征在于所述的軸承與軸肩接觸面一側(cè)的臺階上依次設(shè)置有骨架密封和迷宮密封,骨架密封和迷宮密封之間的空間又形成氣體密封,在一級腔體頂部的泵殼上開有一進氣口,在兩端最外側(cè)腔體底部的泵殼上各開有一排氣孔,兩個排氣孔通過排氣流道與排氣口相通。

2.如權(quán)利要求1所述的一種具有軸端動密封結(jié)構(gòu)的干式真空泵,其特征在于所述的干式真空泵各泵腔內(nèi)的工作壓力沿軸向呈V型分布。

3.如權(quán)利要求1所述的一種具有軸端動密封結(jié)構(gòu)的干式真空泵,其特征在于所述的干式真空泵腔體為2級~6級,對應(yīng)的轉(zhuǎn)子組數(shù)為3組~11組。

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