[發(fā)明專利]一種涂覆方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010563738.0
• 申請日: 2010-11-29
• 公開（公告）號: CN102476092A
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發(fā)明（設計）人: 胡明瑋;黃苒;杜寰;韓鄭生;林斌
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: B05D1/26
• 分類號: B05D1/26;B05C5/00;B05C13/02;G02F1/1339
• 代理公司: 北京市德權律師事務所 11302
• 代理人: 王建國

技術領域

?本發(fā)明屬于硅基液晶（LCoS）微顯示器件制造的技術領域，具體涉及一種應用于LCoS液晶盒制作的涂覆方法。

背景技術

硅基液晶（LCoS）微顯示是一種新型的反射式液晶微顯示技術。它利用CMOS技術將有源矩陣制作在硅襯底上，而頂面被用作反射層。顯示面板通過在LCoS晶圓頂面蓋裝ITO玻璃，灌裝液晶制成。

在LCoS液晶盒的制作過程中，為了精確控制盒厚以及起到支撐作用，要用到襯墊帶或者襯墊珠（Spacer），而盒厚在10μm以下多用襯墊珠（Spacer）。由于盒厚度較小，為了得到均勻的間隙尺寸，需要采用尺寸很小的玻璃球作為襯墊珠。一般通用的LCoS液晶盒襯墊珠（Spacer）的涂覆方法為溶液噴灑的方法，由于襯墊珠尺寸較小，在LCoS晶圓表面涂覆時，易出現(xiàn)襯墊珠分布不均勻以及若干個襯墊珠堆疊現(xiàn)象。顯示器件的彩色800×600分辨率使得每個像素點大小也為微米量級，因此會影響器件發(fā)光性能，嚴重時會導致液晶盒厚度不均勻，并由此產(chǎn)生真空氣泡等更嚴重的問題。

發(fā)明內容

本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種涂覆方法，使襯墊珠可以均勻的涂覆在LCoS晶圓的表面。

為了達到上述目的，本發(fā)明采用的技術方案為：

一種涂覆方法，包括如下步驟：

（1）將襯墊珠放入易揮發(fā)的有機溶劑中，形成懸濁液；

（2）將懸濁液放入超聲波清洗機中，使用超聲波分散襯墊珠；

（3）使用磁力攪拌機對懸濁液進行充分攪拌；

（4）使用勻膠機旋轉表面滴定懸濁液的LCoS晶圓，在LCoS晶圓表面形成一層溶液膜；

（5）LCoS晶圓表面溶液膜中的有機溶劑揮發(fā)后，即完成了將襯墊珠涂覆在LCoS晶圓表面的過程。

上述方案中，所述有機溶劑為二氯甲烷或異丙醇。

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明采用的技術方案所產(chǎn)生的有益效果如下：

本發(fā)明采用的涂覆方法使襯墊珠分散的更均勻，同時密度更低，使器件發(fā)光性能得到顯著提高。

具體實施方式

下面通過實施例對本發(fā)明技術方案進行詳細描述。

實施例1：

本發(fā)明實施例提供一種涂覆方法，步驟如下：

采用3.00±0.02μm?的玻璃球作為襯墊珠（Spacer），將襯墊珠放入二氯甲烷溶液中，形成懸濁液；然后將懸濁液放入超聲波清洗機中片刻，利用超聲波使襯墊珠一一分散開，接著再將懸濁液放在磁力攪拌機上進行充分攪拌；將用丙酮清洗后的LCoS晶圓置于勻膠機旋轉臺上，開啟氣泵固定后，用橡膠吸管吸取適量的襯墊珠懸濁液滴在LCoS晶圓表面，在勻膠機旋轉臺面帶動LCoS晶圓高速旋轉下，將在LCoS晶圓表面形成一層極薄的溶液膜，襯墊珠（Spacer）得到了較理想的散布，待LCoS晶圓表面的溶液膜中的有機溶劑揮發(fā)后，即完成將襯墊珠涂覆在LCoS晶圓表面的過程。

實施例2：

本發(fā)明實施例提供一種涂覆方法，步驟如下：

采用3.00±0.02μm?的玻璃球作為襯墊珠（Spacer），襯墊珠放入異丙醇溶液中，形成懸濁液；然后將懸濁液放入超聲波清洗機中片刻，利用超聲波使襯墊珠一一分散開，接著再將懸濁液放在磁力攪拌機上進行充分攪拌；將用丙酮清洗后的LCoS晶圓置于勻膠機旋轉臺上，開啟氣泵固定后，用橡膠吸管吸取適量的襯墊珠懸濁液滴在LCoS晶圓表面，在勻膠機旋轉臺面帶動LCoS晶圓高速旋轉下，將在LCoS晶圓表面形成一層極薄的溶液膜，襯墊珠（Spacer）得到了較理想的散布，待LCoS晶圓表面的溶液膜中的有機溶劑揮發(fā)后，即完成將襯墊珠涂覆在LCoS晶圓表面的過程。

使用本發(fā)明提供的涂覆方法，可以使得襯墊珠均勻的涂覆在LCoS晶圓表面，粘連現(xiàn)象大幅度減少，襯墊珠密度的控制也較為理想，約為360個/mm²。因此，使用此涂覆方法制備的器件，發(fā)光性能得到顯著提高。

以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對于本領域的技術人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內。