[發(fā)明專利]一種涂覆方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010563738.0 | 申請日： | 2010-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN102476092A | 公開（公告）日： | 2012-05-30 |
| 發(fā)明（設計）人： | 胡明瑋;黃苒;杜寰;韓鄭生;林斌 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | B05D1/26 | 分類號： | B05D1/26;B05C5/00;B05C13/02;G02F1/1339 |
| 代理公司： | 北京市德權律師事務所 11302 | 代理人： | 王建國 |
| 地址： | 100029 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種涂覆方法，其特征在于，包括如下步驟：
（1）將襯墊珠放入易揮發(fā)的有機溶劑中，形成懸濁液；
（2）將懸濁液放入超聲波清洗機中，使用超聲波分散襯墊珠；
（3）使用磁力攪拌機對懸濁液進行充分攪拌；
（4）使用勻膠機旋轉(zhuǎn)表面滴定懸濁液的LCoS晶圓，在LCoS晶圓表面形成一層溶液膜；
（5）LCoS晶圓表面溶液膜中的有機溶劑揮發(fā)后，即完成了將襯墊珠涂覆在LCoS晶圓表面的過程。
2.如權利要求1所述的涂覆方法，其特征在于：所述有機溶劑為二氯甲烷或異丙醇。
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