[發(fā)明專利]一種無載體無引腳柵格陣列IC芯片封裝件及其生產(chǎn)方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010561310.2 | 申請日: | 2010-11-26 |
| 公開(公告)號: | CN102074541A | 公開(公告)日: | 2011-05-25 |
| 發(fā)明(設計)人: | 郭小偉;何文海;慕蔚;王新軍 | 申請(專利權(quán))人: | 天水華天科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/495 | 分類號: | H01L23/495;H01L23/488;H01L21/60 |
| 代理公司: | 甘肅省知識產(chǎn)權(quán)事務中心 62100 | 代理人: | 鮮林 |
| 地址: | 741000*** | 國省代碼: | 甘肅;62 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 載體 引腳 柵格 陣列 ic 芯片 封裝 及其 生產(chǎn) 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于電子信息自動化元器件制造技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種IC芯片封裝件,具體涉及一種無載體無引腳柵格陣列IC芯片封裝件,本發(fā)明還涉及該封裝件的制備方法。
背景技術(shù)
LGA(Land?Grid?Array)封裝是柵格陣列封裝,以層壓基片為基礎的精細間距芯片級封裝。LGA用金屬觸點式封裝技術(shù)取代了過去的PGA(Pin?Grid?Array,針腳柵格陣列)是一種跨越性技術(shù)革命。PGA(針腳柵格陣列)封裝技術(shù)一般使用陶瓷基板、PCB基板或BT基板(邏輯關(guān)系不清楚),并且版圖結(jié)構(gòu)設計較為復雜,使用陶瓷基板、PCB基板或BT基板材料成本高,并且基板生產(chǎn)合格率低、制造周期較長,散熱效果不好。
發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述現(xiàn)有的PGA(針腳柵格陣列)技術(shù)中存在的框架版圖結(jié)構(gòu)設計較為復雜,合格率低,致使材料成本高的問題,本發(fā)明提供一種省去了復雜的版圖設計,采用銅引線框架(L/F)良率高,材料成本較低,并且制造周期短的一種扁平無載體無引腳柵格陳列IC芯片封裝件,本發(fā)明的另一目的是提供一種上述IC芯片封裝件的制備方法。
本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下:
一種無載體柵格陣列IC芯片封裝件及其制備方法,包括內(nèi)引腳,內(nèi)引腳上面為膠膜片,膠膜片上是IC芯片、IC芯片上的焊盤通過鍵合線與內(nèi)引腳相連,塑封體包圍膠膜片、IC芯片、鍵合線、內(nèi)引腳邊緣;其特征在于所述的內(nèi)引腳設為多排矩陣式內(nèi)引腳及外露的多排近似正方形的圓形鍍金觸點。
所述多排矩陣式內(nèi)引腳設為A、B、C三排引腳,其中A排設有3個內(nèi)引腳,分別為A1、A2、A3,B排左邊2個內(nèi)引腳B1、B2連在一起,右邊設1個單獨的內(nèi)引腳B3,C排設有3個單獨的內(nèi)引腳C1、C2、C3。
所述外露的多排近似正方形的圓形鍍金觸點為所述封裝件背面A排引腳上設有3個大小相同近似正方形的圓形獨立引腳觸點a1、a2、a3;b排也設有3個近似正方形的圓形獨立觸點b1、b2、b3;其中b2的左上角成0.10×45°斜角,其斜角正對的a排觸點為該電路Pin?1腳;C排也設有3個大小相同的近似正方形圓形獨立觸點c1、c2、c3。
所述封裝件有單芯片封裝形式;
所述封裝件有多芯片封裝形式;
所述封裝件設有雙芯片堆疊封裝形式,在原IC芯片上端設有另一IC芯片,IC芯片之間設有膠膜片粘接,原IC芯片上的焊盤通過鍵合線與內(nèi)引腳相連,原IC芯片上的另一焊盤再利用另一鍵合線與其上端的IC芯片相連,構(gòu)成電路的電流和信號通道,塑封體包圍膠膜片、IC芯片、鍵合線、內(nèi)引腳邊緣,構(gòu)成電路整體。
所述單芯片封裝件的生產(chǎn)方法包括晶圓減薄、劃片、上芯、壓焊、塑封、后固化、打印、切割分離、檢驗、包裝、入庫,其中后固化、打印、包裝、入庫同普通QFN生產(chǎn),其余的操作按下述工藝步驟進行:
減薄、劃片
先將晶圓減薄到150μm~200μm,清洗干凈并烘干后,背面貼上膠膜片,去掉減薄膠膜,然后將貼有膠膜片的晶圓切成單個芯片,只劃透膠膜層,不劃保護層;
上芯
在膠膜片專用上芯機上,將芯片自動放置到L/F設置位置的正中央,加熱后IC芯片粘在B排內(nèi)引腳和其余幾個內(nèi)引腳邊緣,通過烘烤達到牢固性粘貼;
壓焊
本封裝IC芯片上焊盤距離內(nèi)引腳焊點較近,采用小折彎焊線;
塑封
塑封采用全自動包封系統(tǒng):Y-series?E60T,?CEL9220HF10TS系列環(huán)保塑封料。其工藝條件如下:
模溫(℃):165~185,合模式壓力(Ton):35~55;注塑壓力(Ton):?
0.75~1.33;注塑時間(s):6~15;固化時間(s):90~120。
????后固化采用QFN固化烘箱,150℃,7小時。
切割
采用本產(chǎn)品NLGA1/NLGA2專用切割夾具,按正常QFN切割工藝切割。
所述多芯片封裝的減薄、劃片,塑封,打印,切割與單芯片封裝相同,其它步驟方法如下:
上芯、
在膠膜片專用上芯機上,將芯片自動放置到相應L/F內(nèi)引腳設置位置上,加熱后IC芯片粘在中間排內(nèi)引腳和其余幾個內(nèi)引腳邊緣,通過烘烤達到牢固性粘貼;
壓焊
采用小折彎焊線。
所述雙芯片堆疊封裝的的減薄、劃片,打印,切割與單芯片封裝相同,其它步驟的生產(chǎn)方法如下:
上芯、
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