[發明專利]液體排出頭的制造方法和排出口部件的制造方法有效
| 申請號： | 201010556525.5 | 申請日： | 2010-11-23 |
| 公開（公告）號： | CN102139568A | 公開（公告）日： | 2011-08-03 |
| 發明（設計）人： | 三原弘明;池亀健 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | B41J2/16 | 分類號： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 卜榮麗 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 液體 出頭 制造 方法 出口 部件 | ||
1.一種液體排出頭的制造方法，該液體排出頭具有基板和排出口部件，該基板包含產生用于排出液體的能量的能量產生元件，該排出口部件具有排出液體的排出口并與基板接合，由此形成與排出口連通的液體流路，該方法依次執行以下的步驟：
制備具有導電表面的基底，依次在導電表面上層疊有用于形成排出口的絕緣性的第一抗蝕劑和絕緣性的第二抗蝕劑；
通過使用第一抗蝕劑和第二抗蝕劑作為掩模執行鍍覆，以在導電表面上形成第一鍍層，使得第一鍍層的頂面距基底的高度比第一抗蝕劑的頂面距基底的高度高并比第二抗蝕劑的頂面距基底的高度低；
去除第二抗蝕劑；
通過使用第一抗蝕劑作為掩模在導電表面上執行鍍覆，由此形成第二鍍層以覆蓋第一鍍層；
去除基底和第一抗蝕劑，由此形成排出口部件；和
將基板和排出口部件接合在一起。
2.根據權利要求1的液體排出頭的制造方法，
其中，第一抗蝕劑和第二抗蝕劑被層疊，使得第一抗蝕劑的側端面和第二抗蝕劑的側端面連續。
3.根據權利要求1的液體排出頭的制造方法，
其中，第二抗蝕劑被布置在第一抗蝕劑內。
4.根據權利要求1的液體排出頭的制造方法，
其中，第二抗蝕劑被設置為覆蓋第一抗蝕劑的側端面和頂面。
5.根據權利要求1的液體排出頭的制造方法，
其中，第一抗蝕劑由SiO2制成。
6.一種排出口部件的制造方法，該排出口部件被用于排出液體的液體排出頭并具有排出口，該方法依次執行以下的步驟：
制備具有導電表面的基底，依次在導電表面上層疊有用于形成排出口的絕緣性的第一抗蝕劑和絕緣性的第二抗蝕劑；
通過使用第一抗蝕劑和第二抗蝕劑作為掩模執行鍍覆，以在導電表面上形成第一鍍層，使得第一鍍層的頂面距基底的高度比第一抗蝕劑的頂面距基底的高度高并比第二抗蝕劑的頂面距基底的高度低；
去除第二抗蝕劑；
通過使用第一抗蝕劑作為掩模在導電表面上執行鍍覆，由此形成第二鍍層以覆蓋第一鍍層；和
去除基底和第一抗蝕劑，由此形成排出口部件。
7.根據權利要求6的排出口部件的制造方法，
其中，第一抗蝕劑和第二抗蝕劑被層疊，使得第一抗蝕劑的側端面和第二抗蝕劑的側端面連續。
8.根據權利要求6的排出口部件的制造方法，
其中，第二抗蝕劑被設置為被布置在第一抗蝕劑的內部。
9.根據權利要求6的排出口部件的制造方法，
其中，第二抗蝕劑被布置為覆蓋第一抗蝕劑的側端面和頂面。
10.根據權利要求6的排出口部件的制造方法，
其中，第一抗蝕劑由SiO2制成。
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