[發(fā)明專利]切削裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010552104.5
• 申請(qǐng)日: 2010-11-17
• 公開（公告）號(hào): CN102097373A
• 公開（公告）日: 2011-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邁克爾·威廉姆·加德
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): H01L21/78
• 分類號(hào): H01L21/78;B28D5/00
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 陳堅(jiān)

1.一種切削裝置，該切削裝置具備：

卡盤工作臺(tái)，該卡盤工作臺(tái)保持被加工物；

切削構(gòu)件，該切削構(gòu)件包括切削刀具和主軸，所述切削刀具用于對(duì)保持于所述卡盤工作臺(tái)的被加工物進(jìn)行切削，所述主軸使所述切削刀具旋轉(zhuǎn)；以及

切削液供給構(gòu)件，該切削液供給構(gòu)件對(duì)所述切削刀具供給切削液，

所述切削裝置的特征在于，

所述切削裝置具備：抽吸口，該抽吸口配設(shè)在被供給至所述切削刀具的所述切削液隨著該切削刀具的旋轉(zhuǎn)而飛散的一側(cè)；

流入通道，該流入通道的一端與所述抽吸口連接，經(jīng)由所述抽吸口抽吸來的所述切削液在該流入通道內(nèi)流動(dòng)；

流體分離機(jī)構(gòu)主體，該流體分離機(jī)構(gòu)主體具有第一開口部、第二開口部和第三開口部，所述第一開口部與所述流入通道的另一端連接，所述第二開口部開口于比所述第一開口部靠上方的位置，所述第三開口部形成于比所述第二開口部低的位置，且形成于與所述第一開口部相同高度的位置或比所述第一開口部低的位置，所述第三開口部用于將經(jīng)由所述第一開口部流入的所述切削液排出；

抽吸源，該抽吸源與所述流體分離機(jī)構(gòu)主體的所述第二開口部連接；以及

排出通道，該排出通道的一端與所述第三開口部連接，在該排出通道的另一端具有排出口，該排出口形成于與所述第一開口部相同高度的位置或比所述第一開口部低的位置，該排出通道用于使所述流體分離機(jī)構(gòu)主體內(nèi)的所述切削液排出，

所述排出通道具有液體蓄積部，該液體蓄積部使所述排出口始終充滿液體從而防止外部氣體的流入。