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[發明專利]微機電系統麥克風無效

專利信息
申請號: 201010538712.0 申請日: 2010-11-10
公開(公告)號: CN101984679A 公開(公告)日: 2011-03-09
發明(設計)人: 張睿;葛州;顏毅林;楊斌 申請(專利權)人: 瑞聲聲學科技(深圳)有限公司;瑞聲光電科技(常州)有限公司
主分類號: H04R19/04 分類號: H04R19/04
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 518057 廣東省深圳*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 微機 系統 麥克風
【權利要求書】:

1.一種微機電系統麥克風,包括背板和與所述背板相對設置的振膜,所述背板和所述振膜均為導電材料制成,其特征在于:所述背板與所述振膜相對的一面上附有一層完全覆蓋該面的絕緣膜,所述絕緣膜上設有若干向所述振膜方向凸出的絕緣塊。

2.根據權力要求1所述的微機電系統麥克風,其特征在于:所述絕緣塊采用多晶硅材料制成。

3.根據權力要求2所述的微機電系統麥克風,其特征在于:所述絕緣塊為半球體形。

4.根據權利要求3所述的微機電系統麥克風,其特征在于:所述結構層為采用Si或SiO2或Si3O4或多晶硅材料摻雜金屬材料制成的導體。

5.根據權利要求4所述的微機電系統麥克風,其特征在于:所述背板設有兩層,依次為抗腐蝕層和結構層,所述結構層與所述振膜相鄰。

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