[發(fā)明專利]一種防腐蝕堿性顯影液組合物

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010537105.2
• 申請日: 2010-11-09
• 公開（公告）號: CN102466986A
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃巍;顧奇;趙佳
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州瑞紅電子化學品有限公司
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 陳忠輝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種堿性顯影液組合物，尤其涉及一種防腐蝕低起泡堿性顯影液組合物。

背景技術(shù)

一般在集成電路(IC)、平板顯示器(FPD)等精細圖形制作工藝中，通常采用微影法實現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)，該方法包括蝕刻前涂布對活性射線比較敏感的堿溶性光抗蝕劑，以在基片上形成薄膜有選擇性地保護抗蝕劑下面的基片不被蝕刻液腐蝕，烘干抗蝕劑以蒸發(fā)溶劑，形成干膜，常用的活性射線有紫外(UV/Deep-UV)、X-ray和電子束，經(jīng)過上述列的光源曝光后，以堿性顯影液來顯像，完成后的基板再以腐蝕液蝕刻，并移除剩余的光抗蝕劑層，從而獲得良好的圖像。

在液晶顯示器件和半導體器件生產(chǎn)中，用于形成金屬電極的基材主要為蒸鍍有鎳、鎳-鉻、鉻、鉻-鋁、鋁、鉬-鋁、鉬-鋁-鉬的ITO玻璃。最初的液晶顯示屏的金屬電極蒸鍍材料以鉻為主，但由于環(huán)保問題比如廢水難以處理、回收成本大、易污染等，加之液晶顯示屏的尺寸大型化和圖像解析度等要求越來越高，而鋁導電性能優(yōu)良，電阻率低，對基板附著力高，價格低廉，因此鋁及鉬-鋁結(jié)構(gòu)的基材逐漸被采用。鋁為兩性金屬，易溶于強堿，也能溶于稀酸，使用堿性顯影液時，特別容易發(fā)生針對鋁的腐蝕，從而影響到圖形的良率。在不同的蒸鍍工藝條件下，由于鋁基材摻雜了不同含量金屬釹會使鋁有所鈍化，趨于純鋁的多孔疏松結(jié)構(gòu)的鋁層容易被強堿腐蝕，而致密型鋁和高摻雜量的鋁層腐蝕較慢。因此對堿敏感的鋁材，用微影法制作圖像時，常規(guī)的顯影液很容易腐蝕金屬層。

因此需要一種對堿蝕類金屬低腐蝕的堿性顯影液以改善常規(guī)顯影液顯影后帶來的圖形不良問題，已知對鋁腐蝕有所改善的顯影液是通過向堿性水溶液添加金屬緩蝕劑調(diào)配而成。常見的鋁在堿性條件下的金屬緩蝕劑有硅酸鹽、高錳酸鹽，鉻酸鹽、多羥基結(jié)構(gòu)的糖類和糖醇類、芳香酸類、氨基酸類等，但適用于有機季銨堿類的緩蝕劑較少，且緩蝕劑的添加容易帶來各種問題，如圖形不良、留膜率低、顯影能力變?nèi)趸蜃儚姟@影后留有黑邊等。

在已知公開的國際及國內(nèi)專利中，有許多針對鋁腐蝕的顯影液的改進：

中國專利申請?zhí)?2827571.3提出了包含堿性助洗劑，含鈣化合物和螯合劑的光抗蝕劑顯影液，該顯影液的特點是對鋁腐蝕小，在實施例更是給出了助洗劑、螯合劑的種類。但并未涉及本發(fā)明的內(nèi)容。

日本專利申請?zhí)?-160634提出，在有機堿中加入0.2～10％多元醇醚可以改善鋁腐蝕。

日本申請?zhí)?4-19344中多元醇的含量加到了20～50％。

中國專利公開號100580561A及1570772A加入了兩種以上的1～10％的多元醇，但上述缺點是在以2.38％氫氧化四甲銨為主流的顯影液中，多元醇的加入雖然對鋁腐蝕減輕了，但顯影液的顯影能力卻大大減弱，以致所需最低曝光能量大大增加，圖形更易產(chǎn)生不良，其次，由于多醇物質(zhì)易與堿發(fā)生皂化效應，在噴淋法顯影過程不及醇醚類不易起泡，且該專利中并未涉及到消泡劑、顯影加速劑等方面的內(nèi)容。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于解決上述的技術(shù)問題，提供一種防腐蝕堿性顯影液組合物。

一種防腐蝕堿性顯影液組合物，其該組合物含有組分及重量百分含量為，

有機堿水溶液???????????????????0.1～10％；

小分子的多羥基醇或醇醚???????????2～20％；

顯影加速劑(有機胺)?????????????????＜1％；

消泡劑(聚醚改性有機硅)????????0.005～1％。

進一步地，以上所述的一種防腐蝕堿性顯影液組合物，其中所述有機堿水溶液為2～8％。

進一步地，以上所述的一種防腐蝕堿性顯影液組合物，其中所述小分子的多羥基醇或醇醚質(zhì)量百分比為4～18％。

進一步地，以上所述的一種防腐蝕堿性顯影液組合物，其中所述小分子的多羥基醇或醇醚的選自有2個及2個以上羥基的多羥基化合物及其低聚物中的一種或一種以上組合物。

進一步地，以上所述的一種防腐蝕堿性顯影液組合物，其中所述小分子的多羥基醇或醇醚的選自乙二醇、乙二醇甲醚、丙二醇、丙二醇單甲醚、丁二醇、丁二醇甲醚、丁二醇乙醚、丙三醇、丙三醇甲醚、1，2，3，4-戊四醇、1，2，3，4-戊四醇甲醚、木糖醇、木糖醇醚、二甘醇單丁醚、二丙二醇單甲醚，二聚丙二醇的一種或一種以上組合物。