[發明專利]一種防腐蝕堿性顯影液組合物

無效

• 申請號: 201010537105.2
• 申請日: 2010-11-09
• 公開（公告）號: CN102466986A
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發明（設計）人: 黃巍;顧奇;趙佳
• 申請（專利權）人: 蘇州瑞紅電子化學品有限公司
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 陳忠輝

1.一種防腐蝕堿性顯影液組合物，其特征在于：該組合物含有組分及重量百分含量為，

有機堿水溶液??????????????0.1～10％；

小分子的多羥基醇或醇醚????2～20％；

顯影加速劑(有機胺)????????＜1％；

消泡劑(聚醚改性有機硅)????0.005～1％。

2.如權利要求1所述的一種防腐蝕堿性顯影液組合物，其特征在于：所述有機堿水溶液堿含量為2～8％。

3.如權利要求1所述的一種防腐蝕堿性顯影液組合物，其特征在于：所述小分子的多羥基醇或醇醚質量百分比為4～18％。

4.如權利要求1所述的一種防腐蝕堿性顯影液組合物，其特征在于：所述小分子的多羥基醇或醇醚選自有2個及2個以上羥基的多羥基化合物及其低聚物中的一種或一種以上組合物。

5.權利要求4所述的一種防腐蝕堿性顯影液組合物，其特征在于：所述小分子多羥基醇或醇醚選自乙二醇、乙二醇甲醚、丙二醇、丙二醇單甲醚、丁二醇、丁二醇甲醚、丁二醇乙醚、丙三醇、丙三醇甲醚、1，2，3，4-戊四醇、1，2，3，4-戊四醇甲醚、木糖醇、木糖醇醚、二甘醇單丁醚、二丙二醇單甲醚，二聚丙二醇的一種或一種以上組合物。

6.權利要求1所述的一種防腐蝕堿性顯影液組合物，其特征在于所述有機堿水溶液的堿源為氫氧化四甲銨，所述有機堿水溶液為氫氧化四甲銨的水溶液。

7.如權利要求1所述的一種防腐蝕堿性顯影液組合物，其特征在于：所述的顯影加速劑為有機胺類的化合物，選自二甲胺、三乙胺、丙胺、苯胺、N-甲苯胺、乙醇胺、異丙醇胺、二甘醇胺的一種或一種以上組合物。

8.如權利要求1所述的一種防腐蝕堿性顯影液組合物，其特征在于：所述消泡劑為聚醚改性有機硅消泡劑。