[發(fā)明專利]硅片烘干可控裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010534321.1
• 申請日: 2010-11-06
• 公開（公告）號: CN102466987A
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發(fā)明（設計）人: 王朝偉;孫海雁
• 申請（專利權）人: 西北機器有限公司
• 主分類號: G03F7/38
• 分類號: G03F7/38;G03F7/40
• 代理公司: 西安創(chuàng)知專利事務所 61213
• 代理人: 李子安

1.一種硅片烘干可控裝置，其特征在于：包括石英加熱模塊以及與所述石英加熱模塊相接的氮氣管路系統(tǒng)和用于控制所述石英加熱模塊工作狀態(tài)的溫區(qū)控制系統(tǒng)，所述石英加熱模塊上部中心設置有氮氣入口(21)，所述氮氣入口(21)與所述氮氣管路系統(tǒng)相接。

2.按照權利要求1所述的硅片烘干可控裝置，其特征在于：所述石英加熱模塊包括石英管(3)和套裝在石英管(3)外側的外圍板(1)，所述石英管(3)外表面包覆有加熱器一(4)、加熱器二(5)和加熱器三(6)，所述加熱器一(4)、加熱器二(5)和加熱器三(6)的端部均位于外圍板(1)外，所述外圍板(1)與石英管(3)之間填充有隔熱層(2)。

3.按照權利要求1所述的硅片烘干可控裝置，其特征在于：所述氮氣管路系統(tǒng)由氮氣氣源(14)以及依次設置在氮氣氣源(14)管路上的電磁閥(15)、精密壓力開關(16)和精密流量計(17)。

4.按照權利要求1所述的硅片烘干可控裝置，其特征在于：所述氮氣管路系統(tǒng)包括上位機(7)、與上位機(7)輸入端相接的溫控儀一(8)、溫控儀二(9)和溫控儀三(10)以及與上位機(7)輸出端相接的固態(tài)繼電器一(11)、固態(tài)繼電器二(12)和固態(tài)繼電器三(13)，所述固態(tài)繼電器一(11)與加熱器一(4)相接，所述固態(tài)繼電器二(12)與加熱器二(5)相接，所述固態(tài)繼電器三(13)與加熱器三(6)相接。

5.按照權利要求4所述的硅片烘干可控裝置，其特征在于：還包括與溫控儀一(8)相接且用于實時檢測加熱器一(4)溫度的熱電偶一(18)、與溫控儀二(9)相接且用于實時檢測加熱器二(5)溫度的熱電偶二(19)和與溫控儀三(10)相接且用于實時檢測加熱器三(6)的熱電偶三(20)。