[發明專利]探測裝置以及襯底運送方法

有效

• 申請號: 201010532051.0
• 申請日: 2010-10-27
• 公開（公告）號: CN102116835A
• 公開（公告）日: 2011-07-06
• 發明（設計）人: 帶金正;矢野和哉;山田浩史;鈴木勝;山本保人
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R31/26;H01L21/00;H01L21/677
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 柳春雷;南霆

1.一種探測裝置，包括：配置在直線上的多臺探測檢查室；以及具有襯底運送機構的裝載室，其中所述襯底運送機構從配置在比所述探測檢查室靠上的位置的收納容器中取出被檢查襯底，在將被檢查襯底下降到所述探測檢查室的運入運出口的高度之后，在所述探測檢查室的列的前方與該列平行地移動，并將從收納容器取出的被檢查襯底運送到所述探測檢查室內；并且所述探測裝置通過使探測卡的探測器與載置在所述探測檢查室內所設置的載置臺上的被檢查襯底上的電極觸點接觸，來測定所述被檢查襯底的被檢查芯片的電特性，所述探測裝置的特征在于，

在使所述襯底運送機構在所述探測檢查室的列的前方與該列平行地移動的水平移動機構上設置有讀取機構，所述讀取機構用于讀取被所述襯底運送機構支承的被檢查襯底上所記錄的信息。

2.如權利要求1所述的探測裝置，其特征在于，

所述水平移動機構在所述探測檢查室的列的前方具有與所述列平行地設置的軌道以及沿所述軌道移動并設置有所述襯底運送機構的基臺移動部，所述讀取機構被固定在所述基臺移動部上。

3.如權利要求1所述的探測裝置，其特征在于，

所述探測裝置被構成為：在使所述襯底運送機構位于與向所述探測檢查室的運入運出口運入被檢查襯底或者從該運入運出口運出被檢查襯底時的高度相同的高度的狀態下，通過所述讀取機構來讀取被檢查襯底上所記錄的信息。

4.如權利要求1所述的探測裝置，其特征在于，

所述探測裝置被構成為：在通過所述襯底運送機構向所述探測檢查室的運入運出口運入被檢查襯底的步驟中途，通過所述讀取機構來讀取被檢查襯底上所記錄的信息。

5.如權利要求1所述的探測裝置，其特征在于，

所述讀取機構是讀取被檢查襯底上所記載的字符的光學字符讀取機構。

6.一種探測裝置，包括：設置有載置臺的探測檢查室；以及具有運送機構的裝載室，其中所述運送機構將從收納容器中取出的被檢查襯底運送到所述探測檢查室內的載置臺上；并且所述探測裝置通過使探測卡的探測器與載置在所述載置臺上的被檢查襯底上的電極觸點接觸，來測定所述被檢查襯底的被檢查芯片的電特性，所述探測裝置的特征在于，

在所述探測檢查室的殼體的側壁上設置有從前面繞至側面側開口的具有彎折或彎曲的形狀的運入運出口。

7.如權利要求6所述的探測裝置，其特征在于，

設置有閘門部件，所述閘門部件具有與所述運入運出口相同地彎折或彎曲的形狀，用于打開或關閉所述運入運出口。

8.如權利要求7所述的探測裝置，其特征在于，

所述閘門部件通過作動筒而被打開或關閉。

9.如權利要求6所述的探測裝置，其特征在于，

所述殼體被形成為在所述殼體的所述側壁的前面和側面的連接部存在角部的形狀，所述角部以對所述連接部進行倒角的方式連接所述前面和所述側面，所述運入運出口形成為從所述殼體的前面到所述角部開口。

10.一種襯底運送方法，是探測裝置中的襯底運送方法，所述探測裝置包括：配置在直線上的偶數臺的探測檢查室；以及具有運送機構的裝載室，其中所述運送機構在所述探測檢查室的列的前方與該列平行地移動，并將從收納容器取出的被檢查襯底運送到所述探測檢查室內；并且所述探測裝置通過使探測卡的探測器與載置在所述探測檢查室內所設置的載置臺上的被檢查襯底上的電極觸點接觸，來測定所述被檢查襯底的被檢查芯片的電特性，所述襯底運送方法的特征在于，

使所述運送機構移動，并使所述運送機構停止在相鄰的兩個所述探測檢查室的大致中央的正面位置，通過所述運送機構向兩個所述探測檢查室運入被檢查襯底或者從兩個所述探測檢查室運出被檢查襯底。

11.如權利要求10所述的襯底運送方法，其特征在于，

設置有襯底運入運出口，所述襯底運入運出口在相鄰的兩個所述探測檢查室的殼體的前面側壁的彼此接近的位置處開口，

經由所述襯底運入運出口運入或運出被檢查襯底。

12.如權利要求10所述的襯底運送方法，其特征在于，

在相鄰的兩個所述探測檢查室的殼體的側壁的彼此接近的位置處設置運入運出口，所述運入運出口從前面側繞到側面側開口，并具有彎折或彎曲的形狀，

經由所述運入運出口運入或運出被檢查襯底。

13.如權利要求11所述的襯底運送方法，其特征在于，

設置用于打開或關閉所述運入運出口的閘門部件，除運入或運出被檢查襯底的時候之外，通過閘門部件關閉所述運入運出口。