[發明專利]OLED制備過程中的絲網型蒸發源及蒸發方法

無效

• 申請號: 201010525440.0
• 申請日: 2010-10-29
• 公開（公告）號: CN102021517A
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發明（設計）人: 牟強;王秀峰
• 申請（專利權）人: 陜西科技大學
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 陸萬壽

技術領域

本發明涉及一種OLED制程中絲網型蒸發源及蒸發方法，屬于顯示、發光、光電、電光轉換應用領域，主要應用于器件的制備，特別涉及一種用真空蒸鍍技術而制備的大尺寸OLED制備過程中的絲網型蒸發源及蒸發方法。其優勢是相對于傳統的方法掩膜版在制程中不易發生形變，從而提高器件的生產良率。

背景技術

有機電致發光技術，由于材料廣泛，發光效率高，制成的器件輕薄、省電低功耗、自發光、響應速度快等特點，而得到長足進步和廣泛應用。但是，因為目前在材料方面主要選用的是小分子材料，對應的是真空蒸鍍技術，傳統的技術中所采用的布局是從上至下依次為基板、掩膜版、蒸發源(含材料、坩堝、加熱源)。小尺寸器件基本已過關，如索尼的11英寸OLED彩色電視機已經量產，但成本較高，使得售價高達2500美金。影響產品良率的因素有很多，但較關鍵的是掩膜版技術，傳統方法中，掩膜版置于基板下方，使用過程中由于重力極易發生形變，產生誤差，使其良率下降。

當然目前也有激光轉印技術，可實現大尺寸基板制備，但尚不成熟，尤其是中間轉印體的制備技術難度大成本高。

發明內容

本發明的目的在于克服上述現有技術的缺點，提供了一種克服或減少掩膜版形變，提高大尺寸顯示器基板的良率的OLED制備過程中的絲網型蒸發源及蒸發方法。

為達到上述目的，本發明的絲網型蒸發源包括真空室以及置于真空室內自上而下依次設置的熱源、金屬絲網坩堝、掩膜版和基板，有機或金屬材料置于金屬絲網坩堝中或其上，掩膜版緊貼在基板上。

本發明的金屬絲網坩堝根據不同有機或金屬材料的顆粒性狀而采用不同目數和形狀的金屬絲網坩堝。

發明的絲網型蒸發方法為：熱源對金屬絲網坩堝中的有機或金屬材料加熱，產生向下的蒸發過程，經掩膜版在基板上形成所需圖形。

本發明與傳統方式相比，特別是在大尺寸有機器件(如OLED彩色電視)制備過程中，由于掩膜版緊貼基板且置于基板之上，不易產生形變，可有效提高產品良率。本發明與激光轉印技術相比成本較低，且現有真空技術完全可以實現。

附圖說明

圖1是本發明的整體結構示意圖；

圖2是本發明金屬絲網坩堝的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步詳細說明。

參見圖1，2，本發明包括真空室以及置于真空室內自上而下依次設置的熱源1、金屬絲網坩堝3、掩膜版4和基板5，有機或金屬材料2置于金屬絲網坩堝3中或其上，掩膜版4緊貼在基板5上。所述的金屬絲網坩堝3根據不同有機或金屬材料的顆粒性狀而采用不同目數和形狀的金屬絲網坩堝，金屬絲網坩堝其絲網目數應在200目以上，對金屬塊料則應考慮在蒸發過程中的浸潤性而適當選擇。

本發明的蒸發過程如下：熱源1對金屬絲網坩堝3中的有機或金屬材料2加熱，產生向下的蒸發過程，經掩膜版4在基板5上形成所需圖形。

本發明以金屬絲網坩堝為關鍵部件，重新排布蒸鍍機構，布局為由上至下依次為加熱源、絲網坩堝、掩膜版和基板。熱源加熱金屬絲網坩堝，使其中有機或金屬材料向下蒸發，經掩膜版沉積在基板上，形成相應圖形。由于電致發光有機材料是粉末狀，顆粒之間摩擦力較大可以停留在金屬絲網坩堝上(或用易揮發有機溶劑將有機材料攪拌成塊狀)，金屬材料一般都是塊狀，自然可以用金屬絲網坩堝承載。制備器件時，當真空度在10-4Pa左右可打開蒸發源，使待鍍材料從上向下蒸發，遇冷沉積在基板上成膜。由于用基板承托掩膜版，重力只能使掩膜版更加貼緊基板而不會發生形變，這樣使得對位準確提高產品良率。本發明尤其是在大尺寸顯示器制備中優勢明顯。本發明在蒸發裝置布局方面有創新，除對絲網坩堝要求較高，其他方面現有真空技術均能實現，可大幅降低生產成本，可使OLED彩色電視機早日量產。