[發明專利]OLED制備過程中的絲網型蒸發源及蒸發方法無效
| 申請號： | 201010525440.0 | 申請日： | 2010-10-29 |
| 公開（公告）號： | CN102021517A | 公開（公告）日： | 2011-04-20 |
| 發明（設計）人： | 牟強;王秀峰 | 申請（專利權）人： | 陜西科技大學 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人： | 陸萬壽 |
| 地址： | 710021 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | oled 制備 過程 中的 絲網 蒸發 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種OLED制備過程中的絲網型蒸發源，其特征在于：包括真空室以及置于真空室內自上而下依次設置的熱源(1)、金屬絲網坩堝(3)、掩膜版(4)和基板(5)，有機或金屬材料(2)置于金屬絲網坩堝(3)中或其上，掩膜版(4)緊貼在基板(5)上。
2.根據權利要求1所述的OLED制備過程中的絲網型蒸發源，其特征在于：所述的金屬絲網坩堝(3)根據不同有機或金屬材料的顆粒性狀而采用不同目數和形狀的金屬絲網坩堝。
3.一種如權利要求1所述的OLED制備過程中的絲網型蒸發源的蒸發方法，其特征在于：熱源(1)對金屬絲網坩堝(3)中的有機或金屬材料(2)加熱，產生向下的蒸發過程，經掩膜版(4)在基板(5)上形成所需圖形。
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