[發(fā)明專利]面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010521227.2
• 申請日: 2010-10-27
• 公開（公告）號: CN102456537A
• 公開（公告）日: 2012-05-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 康凱;王宏;張彥武;林躍;周建輝;唐達(dá)鼎;姜軍;張萌;張銳
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽中科博微自動化技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 李曉光

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備中各個(gè)功能模塊的調(diào)度技術(shù)，具體的說是一種面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法。

背景技術(shù)

國內(nèi)半導(dǎo)體廠商在晶圓加工方面大多采用集束半導(dǎo)體設(shè)備，集束半導(dǎo)體設(shè)備由多個(gè)功能模塊組成，反應(yīng)腔和傳片腔是晶圓加工設(shè)備中典型的功能模塊。

目前對這種多功能集束設(shè)備的控制方法通常采用傳統(tǒng)的單一功能設(shè)備的控制方法，即將設(shè)備的多個(gè)功能簡單認(rèn)為是復(fù)雜的單一功能。這種方法并沒按照設(shè)備的實(shí)際情況進(jìn)行功能模塊的劃分，這就造成了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)過于龐大，控制算法復(fù)雜甚至無法實(shí)現(xiàn)，設(shè)備功能的可擴(kuò)展性不好，系統(tǒng)安全性穩(wěn)定性降低等缺點(diǎn)。

要控制這種集束半導(dǎo)體設(shè)備，必須對設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔進(jìn)行管理和調(diào)度，讓使用者能高效安全的使用反應(yīng)腔和傳片腔提供的功能，并能是他們互相配合完成更復(fù)雜的功能。而目前，能夠?qū)崿F(xiàn)上述功能的調(diào)用方法尚未見報(bào)道。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)龐大、控制算法復(fù)雜等不足之處，本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠合理的管理設(shè)備中的各個(gè)功能模塊，控制算法簡單、增加設(shè)備功能的使用效率的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

本發(fā)明一種面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法包括以下步驟：

對集束半導(dǎo)體設(shè)備中的各個(gè)功能進(jìn)行劃分，根據(jù)不同功能構(gòu)造出相應(yīng)的功能模塊，即負(fù)責(zé)傳片腔內(nèi)部所有部件操作的傳片腔模塊，負(fù)責(zé)反應(yīng)腔內(nèi)部所有部件操作的反應(yīng)腔模塊以及對上述傳片腔模塊和反應(yīng)腔模塊進(jìn)行管理的調(diào)度模塊；生成命令分派表和參數(shù)分派表；

對集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令根據(jù)命令分派表和參數(shù)分派表進(jìn)行解析，確定應(yīng)由哪個(gè)功能模塊處理該命令；

負(fù)責(zé)處理該命令的功能模塊根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)，獨(dú)自執(zhí)行、在其他功能模塊的配合下執(zhí)行或不執(zhí)行該命令；

將獨(dú)自執(zhí)行、在其他功能模塊的配合下執(zhí)行命令的結(jié)果統(tǒng)一返回給命令發(fā)出者，完成本次反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用。

處理該命令的功能模塊根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)，獨(dú)自執(zhí)行命令時(shí)，則需判斷處理該命令的功能模塊是否為空閑狀態(tài)，如為空閑狀態(tài)，則判斷是否需要其他模塊配合執(zhí)行，如不需要其他模塊配合執(zhí)行，則由該功能模塊處理該命令。

如果上述功能模塊不為空閑狀態(tài)，則命令執(zhí)行失敗。

處理該命令的功能模塊根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)，需要在其他功能模塊的配合下執(zhí)行時(shí)，則需判斷其他功能模塊的狀態(tài)是否為空閑，如果為空閑狀態(tài)，則兩個(gè)功能模塊配合執(zhí)行命令，將命令執(zhí)行結(jié)果統(tǒng)一返回給命令發(fā)出者，完成本次反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用步驟。

如果其他功能模塊不為空閑狀態(tài)，則此次命令執(zhí)行失敗，結(jié)束此次命令處理。

所述對集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令進(jìn)行解析包括以下步驟：

在各功能模塊中預(yù)先定義控制命令的格式，格式包括命令名稱和參數(shù)表兩部分；

將集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令按預(yù)先定義的控制命令格式分為命令名稱和參數(shù)表兩部分，分別生成命令名稱分派表和關(guān)鍵參數(shù)分派表；

調(diào)度模塊接收到控制命令后對命令進(jìn)行解析，分解出命令名稱和參數(shù)表中的參數(shù)。

所述確定應(yīng)由哪個(gè)功能模塊處理該命令為：調(diào)度模塊接收到來自用戶的命令后，根據(jù)命令名稱分派表，判斷能否確定命令的目標(biāo)模塊；如果能確定命令的目標(biāo)模塊，則將命令傳遞給目標(biāo)模塊；

如果根據(jù)命令名稱分派表不能確定目標(biāo)模塊，則根據(jù)查找命令分派表，判斷能否確定命令的目標(biāo)模塊；如果能確定命令的目標(biāo)模塊，則將命令傳遞給目標(biāo)模塊；

如果根據(jù)參數(shù)分派表不能確定目標(biāo)模塊，則此命令為非法命令，命令執(zhí)行失敗。

本發(fā)明具有以下有益效果及優(yōu)點(diǎn)：

1.本發(fā)明針對集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔的功能調(diào)用提出一種新的方法，使用此方法能夠有效的管理集束設(shè)備中多個(gè)功能模塊的調(diào)度問題，不但提高了設(shè)備的穩(wěn)定性，而且使設(shè)備的各個(gè)功能模塊能夠相互配合，完成更加復(fù)雜的功能，增加設(shè)備功能的使用效率。

附圖說明

圖1為集束半導(dǎo)體設(shè)備中反應(yīng)腔和傳片腔的結(jié)構(gòu)圖；

圖2為集束半導(dǎo)體設(shè)備中反應(yīng)腔和傳片腔功能模塊框圖；

圖3為設(shè)備內(nèi)部預(yù)定義的命令格式、命令分派表和參數(shù)分派表；

圖4為本發(fā)明方法總流程圖；

圖5為本發(fā)明方法中調(diào)度模塊在收到用戶命令后，分析命令目的地流程圖；

圖6為本發(fā)明方法中調(diào)度模塊將命令傳遞給傳片腔模塊的流程；