[發(fā)明專利]面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010521227.2
• 申請(qǐng)日: 2010-10-27
• 公開（公告）號(hào): CN102456537A
• 公開（公告）日: 2012-05-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 康凱;王宏;張彥武;林躍;周建輝;唐達(dá)鼎;姜軍;張萌;張銳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽中科博微自動(dòng)化技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 李曉光

1.一種面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于包括以下步驟：

對(duì)集束半導(dǎo)體設(shè)備中的各個(gè)功能進(jìn)行劃分，根據(jù)不同功能構(gòu)造出相應(yīng)的功能模塊，即負(fù)責(zé)傳片腔內(nèi)部所有部件操作的傳片腔模塊，負(fù)責(zé)反應(yīng)腔內(nèi)部所有部件操作的反應(yīng)腔模塊以及對(duì)上述傳片腔模塊和反應(yīng)腔模塊進(jìn)行管理的調(diào)度模塊；生成命令分派表和參數(shù)分派表；

對(duì)集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令根據(jù)命令分派表和參數(shù)分派表進(jìn)行解析，確定應(yīng)由哪個(gè)功能模塊處理該命令；

負(fù)責(zé)處理該命令的功能模塊根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)，獨(dú)自執(zhí)行、在其他功能模塊的配合下執(zhí)行或不執(zhí)行該命令；

將獨(dú)自執(zhí)行、在其他功能模塊的配合下執(zhí)行命令的結(jié)果統(tǒng)一返回給命令發(fā)出者，完成本次反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用。

2.按權(quán)利要求1所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于：處理該命令的功能模塊根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)，獨(dú)自執(zhí)行命令時(shí)，則需判斷處理該命令的功能模塊是否為空閑狀態(tài)，如為空閑狀態(tài)，則判斷是否需要其他模塊配合執(zhí)行，如不需要其他模塊配合執(zhí)行，則由該功能模塊處理該命令。

3.按權(quán)利要求2所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于：如果上述功能模塊不為空閑狀態(tài)，則命令執(zhí)行失敗。

4.按權(quán)利要求1或2所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于：處理該命令的功能模塊根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)，需要在其他功能模塊的配合下執(zhí)行時(shí)，則需判斷其他功能模塊的狀態(tài)是否為空閑，如果為空閑狀態(tài)，則兩個(gè)功能模塊配合執(zhí)行命令，將命令執(zhí)行結(jié)果統(tǒng)一返回給命令發(fā)出者，完成本次反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用步驟。

5.按權(quán)利要求4所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于：如果其他功能模塊不為空閑狀態(tài)，則此次命令執(zhí)行失敗，結(jié)束此次命令處理。

6.按權(quán)利要求1所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于所述對(duì)集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令進(jìn)行解析包括以下步驟：

在各功能模塊中預(yù)先定義控制命令的格式，格式包括命令名稱和參數(shù)表兩部分；

將集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令按預(yù)先定義的控制命令格式分為命令名稱和參數(shù)表兩部分，分別生成命令名稱分派表和關(guān)鍵參數(shù)分派表；

調(diào)度模塊接收到控制命令后對(duì)命令進(jìn)行解析，分解出命令名稱和參數(shù)表中的參數(shù)。

7.按權(quán)利要求1所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于：所述確定應(yīng)由哪個(gè)功能模塊處理該命令為：調(diào)度模塊接收到來自用戶的命令后，根據(jù)命令名稱分派表，判斷能否確定命令的目標(biāo)模塊；如果能確定命令的目標(biāo)模塊，則將命令傳遞給目標(biāo)模塊。

8.按權(quán)利要求7所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于：如果根據(jù)命令名稱分派表不能確定目標(biāo)模塊，則根據(jù)查找命令分派表，判斷能否確定命令的目標(biāo)模塊；如果能確定命令的目標(biāo)模塊，則將命令傳遞給目標(biāo)模塊。

9.按權(quán)利要求8所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于：如果根據(jù)參數(shù)分派表不能確定目標(biāo)模塊，則此命令為非法命令，命令執(zhí)行失敗。