[發(fā)明專利]用于自動光學檢查的可塑模制反射部件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010519905.1 | 申請日: | 2010-10-26 |
| 公開(公告)號: | CN102053366A | 公開(公告)日: | 2011-05-11 |
| 發(fā)明(設計)人: | Y·馬利諾維奇;O·哈伊莫維奇;A·B·那坦 | 申請(專利權)人: | 卡姆特有限公司 |
| 主分類號: | G02B27/00 | 分類號: | G02B27/00;G02B5/10;G02B1/10 |
| 代理公司: | 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人: | 馬浩 |
| 地址: | 以色列米格*** | 國省代碼: | 以色列;IL |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 自動 光學 檢查 可塑 反射 部件 | ||
1.一種用于制造反射元件的方法,所述方法包括:
設計所述反射元件或接收所述反射元件的設計;
創(chuàng)建用于制造所述反射元件的精確模具,其中所述精確模具的精度在納米范圍內(nèi);
使用所述精確模具模制所述反射元件;以及
用反射涂層涂覆所模制的反射元件。
2.根據(jù)權利要求1所述的方法,包括模制具有鏡子的反射元件,所述鏡子從正面觀看時具有拱形細長形狀,其中兩個安裝元件在所述鏡子的兩個短邊附近以彼此平行的關系向外延伸,其中所述鏡子具有在鏡子的大部分周邊長度處彼此平行的凹面和凸面,其中所述鏡子的上邊以窄尖結束。
3.根據(jù)權利要求2所述的方法,包括模制包括從所述鏡子的凸面延伸的細長結構的肋狀物的鏡子組件。
4.根據(jù)權利要求2所述的方法,包括從所述反射元件去除材料。
5.根據(jù)權利要求1所述的方法,包括用保護涂層涂覆所述反射涂層。
6.根據(jù)權利要求1所述的方法,包括將所述反射元件安裝在自動光學檢查機器中。
7.根據(jù)權利要求6所述的方法,包括使用所述反射元件來執(zhí)行光學檢查。
8.根據(jù)權利要求1所述的方法,包括通過使用金剛石車削工藝來創(chuàng)建所述精確模具。
9.一種反射元件,包括從正面觀看時具有拱形細長形狀的鏡子,其中兩個安裝元件在所述鏡子的兩個短邊附近以彼此平行的關系并且基本上平行于Z軸地向外延伸,其中所述鏡子具有在所述鏡子的大部分周邊長度處彼此平行的凹面和凸面,其中所述鏡子的上邊以窄尖結束。
10.根據(jù)權利要求9所述的反射元件,包括從所述鏡子的凸面延伸的細長結構的肋狀物。
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