[發明專利]一種以噴霧干燥工藝制備AZO粉末及平面和旋轉靶材的方法

在審

• 申請號: 201010515725.6
• 申請日: 2010-10-22
• 公開（公告）號: CN102134702A
• 公開（公告）日: 2011-07-27
• 發明（設計）人: 遲偉光
• 申請（專利權）人: 遲偉光
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B01J2/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種以噴霧干燥工藝制備AZO粉末及平面和旋轉靶材方法，該方法采用純度大于99.99％的ZnO粉末及純度大于99.95％的氧化鋁粉末，以噴霧干燥工藝對其均勻混合及造粒，形成AZO粉末。并以噴霧干燥工藝制得的AZO粉末，燒結成密度在90％～99％的平面及管狀靶材，其中氧化鋁占質量百分比為0.5～5％。

2.權利要求1所述的制備方法具體步驟如下：

a.按一定比例稱取原料氧化鋅，氧化鋁，加入粘結劑PVA(粘結劑的添加量為所有氧化物總重量的0～5％)及水，濕混均勻，獲得固含量為50～70％的料漿，氧化鋁占質量百分比范圍為0.5～5％。

b.采用噴霧干燥器進行噴霧干燥造粒，制成AZO粉末。

c.然后將AZO粉末裝入不同模具，制成平面和管狀生坯，模壓壓力20～60MPa，冷等靜壓壓力為80～200MPa。

d.在空氣氣氛下進行脫膠燒結，燒結溫度為1300～1600℃，制成密度為90～99％AZO平面靶及管狀靶。

e.靶材經過精磨，獲得最終尺寸。

3.權利要求2所述的制備方法，其特征為，在步驟a中，氧化鋁占所有氧化物質量百分比范圍為0.5～5％。

4.權利要求2所述的制備方法，其特征為，在步驟a中，粘結劑為PVA，添加量為所有氧化物總重量的0～5％。

5.權利要求2所述的制備方法，其特征為，在步驟b中，AZO粉末是通過噴霧干燥造粒制得。

6.權利要求2所述的制備方法，其特征為，在步驟c中，模壓壓力為20～60MPa。

7.權利要求2所述的制備方法，其特征為，在步驟c中，冷等靜壓壓力為80～200MPa。

8.權利要求2所述的制備方法，其特征為，在步驟d中，在空氣氣氛下進行脫膠燒結，燒結溫度為1300～1600℃。

9.權利要求2所述的制備方法，其特征為，在步驟e中，靶材需經過精磨，達到最終尺寸要求，制成平面及管狀的AZO靶材。