[發明專利]運送式基板處理裝置中的節水型清洗系統

無效

• 申請號: 201010506663.2
• 申請日: 2010-09-27
• 公開（公告）號: CN102199007A
• 公開（公告）日: 2011-09-28
• 發明（設計）人: 小泉晴彥;松元俊二
• 申請（專利權）人: 住友精密工業株式會社
• 主分類號: C03C23/00
• 分類號: C03C23/00
• 代理公司: 北京三幸商標專利事務所 11216
• 代理人: 劉激揚

技術領域

本發明涉及在液晶面板用玻璃基板的各種處理等所采用的基板清洗裝置，更具體地說，稱為平流式的運送式基板處理裝置中，相對過去可節制蝕刻液、剝離液等的化學液處理之后的清洗處理所使用的清洗水的使用量的節水型清洗系統。

背景技術

在液晶面板的制造中，在作為材料的大面積的玻璃基板的表面上，反復地進行抗蝕劑涂敷、顯影、蝕刻、抗蝕劑剝離的各種處理，由此，在基板表面上形成集成電路。各種處理方式的代表性的方式之一屬于稱為平流方式的基板運送方式的基板處理裝置，在沿水平方向運送基板的同時，在其表面上，反復進行各種處理。

比如，在平流式的蝕刻處理中，在以水平姿勢或以在側方傾斜的姿勢沿水平方向運送的基板的表面上，在蝕刻區供給蝕刻液，接著，在沖洗區，通過清洗水進行表面清洗。通過圖6，對平流式蝕刻處理中的基板清洗裝置的過去典型的裝置結構進行說明。

沿基板的運送方向，依次排列有蝕刻區1、第1沖洗區2A、第2沖洗區2B、最終沖洗區2C以及干燥區3。各區由獨立的腔構成，分別設置為了進行基板運送而沿運送方向并列的多個運送輥。在蝕刻區1的出口附近，為了去除附著于基板的表面上的蝕刻液，比如，上下一組的氣刀4、4按照夾持基板運送線的方式設置。在第1沖洗區2A、第2沖洗區2B以及最終沖洗區2C中，按照夾持基板運送線的方式分別設置向基板的兩面排出供給清洗水的上下一對的噴淋系統5A、5B和5C。為了去除附著于基板的兩個表面上的清洗水，在干燥區3按照夾持基板運送線的方式設置上下一對的氣刀6、6。

清洗水與基板運送方向相反，按照最終沖洗區2C、第2沖洗區2B、第1沖洗區2A的順序以階梯方式供給。即，首先由未使用的純水形成的清洗水從最終沖洗區2C中的噴淋系統5C、5C排出，對基板的兩個面進行清洗。使用后的清洗水回收到設置于最終沖洗區2C中的箱7C的內。箱7C內的清洗水從第2沖洗區2B中的噴淋系統5B、5B排出，對基板的兩個表面進行清洗。使用后的清洗水回收到設置于第2沖洗區2B中的箱7B的內。箱7B內的清洗水從第1清洗區2A中的噴淋系統5A、5A排出，對基板的兩個表面進行清洗。將清洗使用完的清洗水廢棄。

由此，清洗水的清潔度按照第1沖洗區2A、第2沖洗區2B、最終沖洗區2C的順序提高，以少量的清洗水進行有效的清洗。

即，在基板運送線上行進的基板在蝕刻區1接受蝕刻處理，通過出口附近的氣刀4，按照在兩面沒有干燥的程度，從兩面去除蝕刻液，然后，在第1沖洗區2A，通過清潔度低(污染度高的)清洗水，對兩個面預先進行清洗。將使用后的清洗水廢棄。接著，在第2沖洗區2B，通過清洗度高(污染度低的)清洗水，對兩個面進行正式清洗，最后，通過由最終沖洗區2C未使用的純水形成的清洗水，對兩個面進行最終清洗。由于采用越是往下游側，清潔度越高的清洗水，故串聯地使用清洗水，盡管謀求該使用量的削減，但也可使基板具有較高的清潔度。

只要用于像日本那樣的水豐富的國家、地域，即使在按照階梯方式使用清洗水的上述這樣的基板清洗裝置中的情況下，仍沒有特別的問題。但是，具有因國家、地域，對清洗水的使用量，有較大的限制的情況，在這樣的場合，即使在上述方式的基板的清洗裝置中，清洗水的使用量也過大，人們尋求可進行進一步節水的基板清洗裝置。

關于基板清洗裝置中的節水，在專利文獻1中公開有下述的基板清洗裝置，其中，在化學液處理區和噴淋式水洗區之間，組合有液膜式清洗機構，其呈幕狀將清洗水供給到基板表面上；液刀的除液機構，其在液膜式清洗機構的下游側，使清洗水呈液膜狀，并且相對基板運送方向，沿相反方向傾斜而排出，置換殘留于基板的兩個表面上的清洗液。另外，在專利文獻2中，公開有下述的基板清洗裝置，其中，組合有第1噴嘴排和第2噴嘴排，在該第1噴嘴排中，沿與基板運送方向相垂直的水平方向并列有多個平型噴霧嘴，各噴霧嘴按照沿周向每次按照相同角度而扭轉的方式配置，在該第2噴嘴排中，在第1噴嘴排的下游側，多個平型噴霧嘴按照來自各噴霧嘴的液膜重疊的方式沿與基板運送方向相垂直的水平方向并列，形成幕狀的液膜。

在任意的基板清洗裝置中，按照在結束化學液處理的基板的表面上的運送方向的一部分上，在全寬范圍內，集中供給清洗水的所謂的槳方式，進行清洗。在基板的表面上的運送方向的一部分上在全寬范圍內供給的清洗水呈厚膜狀放置于基板上，排到側方。這樣的槳清洗每次一部分地對基板運送方向較窄的部分進行清洗，將化學液置換為清洗水，由此，與噴淋清洗相比較，可大幅度地削減清洗水的使用量。但是，在考慮清洗效果的場合，實際的情況是，其節水量談不上充分。

在先技術文獻

專利文獻