[發(fā)明專利]氣體噴灑模塊及其氣體噴灑掃描裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010503985.1
• 申請日: 2010-09-30
• 公開（公告）號: CN102443781A
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 江銘通
• 申請（專利權(quán)）人: 財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;張燕華

1.一種氣體噴灑模塊，其特征在于，包括有：

一本體；

一對擴(kuò)散通道部，其形成于該本體內(nèi)；

一對進(jìn)氣部，其分別與該對擴(kuò)散通道部相連通；以及

一出氣部，其設(shè)置于該本體內(nèi)且分別與該對擴(kuò)散通道部相連接，該出氣部于該本體的一表面上具有至少一出口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體噴灑模塊，其特征在于，每一擴(kuò)散通道部還具有至少一第一擴(kuò)散通道，其分別設(shè)置于該本體內(nèi)部，其中該本體的兩側(cè)還可以分別設(shè)置一側(cè)板封住本體兩端對應(yīng)該至少一第一擴(kuò)散通道的開口。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體噴灑模塊，其特征在于，該對進(jìn)氣部分別設(shè)置于該本體的兩側(cè)，每一進(jìn)氣部具有至少一進(jìn)氣通道。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體噴灑模塊，其特征在于，每一擴(kuò)散通道部還具有：

一第一擴(kuò)散通道；以及

一第二擴(kuò)散通道，其藉由至少一連絡(luò)通道與該第一擴(kuò)散通道相聯(lián)接；

其中該本體的兩側(cè)還可以分別設(shè)置一側(cè)板封住本體兩端對應(yīng)該第一擴(kuò)散通道與第二擴(kuò)散通道的開口。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體噴灑模塊，其特征在于，該出氣部具有一對開槽，其分別與該對擴(kuò)散通道部相連接，該對開槽所具有的槽口的法向量具有一夾角。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體噴灑模塊，其特征在于，該出氣部具有一對出氣通道組，每一出氣通道組具有多個(gè)出氣通道，其中該對出氣通道組中相對應(yīng)的氣體通道中心線具有一夾角，該多個(gè)出氣通道呈現(xiàn)一直線排列或者是交錯(cuò)排列。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體噴灑模塊，其特征在于，該本體的表面上還具有一混合槽體，其與該對出氣部的至少一出氣口相連接，該混合槽體的截面為一三角形、矩形或者是弧形截面，其中該至少一出氣口的輪廓為多邊形或者是具有弧度的輪廓。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體噴灑模塊，其特征在于，該出氣部為一混合氣開槽或者是多個(gè)混合氣通道，其藉由開設(shè)于該本體上的一混合腔與該對擴(kuò)散通道部相連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體噴灑模塊，其特征在于，每一擴(kuò)散通道部還具有：

一第一擴(kuò)散槽，其開設(shè)位置位于該本體的表面上，該本體上對應(yīng)該第一擴(kuò)散槽的位置上還覆蓋有一第一蓋體；以及

一第二擴(kuò)散槽，其開設(shè)位置位于該本體的表面上，藉由至少一連絡(luò)通道與該第一擴(kuò)散槽相聯(lián)接，該第二擴(kuò)散槽上還覆蓋有一第二蓋體。

10.一種氣體噴灑掃描裝置，其特征在于，包括有：

一氣體噴灑模塊，其具有：一本體、一對擴(kuò)散通道部、一對進(jìn)氣部、一出氣部，該對擴(kuò)散通道部形成于該本體內(nèi)；該對進(jìn)氣部分別與該對擴(kuò)散通道部相連通；該出氣部設(shè)置于該本體內(nèi)且分別與該對擴(kuò)散通道部相連接，該出氣部于該本體的一表面上具有至少一出口；以及

一位移驅(qū)動(dòng)單元，其提供至少一維度的線性位移運(yùn)動(dòng)，使該氣體噴灑模塊與設(shè)置于該氣體噴灑模塊一側(cè)的一基材產(chǎn)生相對運(yùn)動(dòng)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的氣體噴灑掃描裝置，其特征在于，每一擴(kuò)散通道部還具有至少一第一擴(kuò)散通道，其分別設(shè)置于該本體內(nèi)部，其中該本體的兩側(cè)還可以分別設(shè)置一側(cè)板封住本體兩端對應(yīng)該至少一第一擴(kuò)散通道的開口。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的氣體噴灑掃描裝置，其特征在于，該對進(jìn)氣部分別設(shè)置于該本體的兩側(cè)，每一進(jìn)氣部具有至少一進(jìn)氣通道。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的氣體噴灑掃描裝置，其特征在于，每一擴(kuò)散通道部還具有：

一第一擴(kuò)散通道；以及

一第二擴(kuò)散通道，其藉由至少一連絡(luò)通道與該第一擴(kuò)散通道相聯(lián)接；

其中該本體的兩側(cè)還分別設(shè)置一側(cè)板封住本體兩端對應(yīng)該第一擴(kuò)散通道與第二擴(kuò)散通道的開口。

14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的氣體噴灑掃描裝置，其特征在于，該出氣部具有一對開槽，其分別與該對擴(kuò)散通道部相連接，該對開槽所具有的槽口的法向量具有一夾角。