[發明專利]一種準分子激光器腔體光路的準直調諧方法

無效

• 申請號: 201010300508.5
• 申請日: 2010-01-21
• 公開（公告）號: CN101794960A
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發明（設計）人: 連貴君
• 申請（專利權）人: 北京大學
• 主分類號: H01S3/105
• 分類號: H01S3/105;H01S3/225
• 代理公司: 北京萬象新悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11360
• 代理人: 賈曉玲

1.一種準分子激光器腔體光路的準直調諧方法，其特征在于，采用一帶有光源和十 字圖形的調光靶，該調光靶為一封閉盒子，光源設置在盒子內部，盒子的一側面板上設有 一出光孔，與其相對的另一側面板上設有一通透孔，所述帶有通透孔面板的內側表面設有 十字圖形，該十字圖形的交點為通透孔的圓心位置，將調光靶置于準分子激光器的前反射 鏡一端，調試者通過調光靶的通透孔可觀察到出光孔和調光靶十字圖形在激光器前、后兩 個反射鏡的成像，其中，出光孔和調光靶十字圖形在激光器前反射鏡的成像為大圓圈和大 十字，出光孔和調光靶十字圖形在激光器后反射鏡的成像為小圓圈和小十字，分別調整準 分子激光器腔體前、后兩個反射鏡位置實現準直調諧，具體步驟為：

1)調整調光靶位置，使調光靶十字圖形在前反射鏡的十字成像的交點與調光靶出光孔 在前反射鏡的圓圈成像的中心點重合；

2)固定調光靶；

3)旋轉激光器前反射鏡或后反射鏡的水平或垂直方向旋鈕，使前反射鏡和后反射鏡的 十字成像重合及其衍射像對稱。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，旋轉激光器前反射鏡或后反射鏡的水平 或垂直方向旋鈕，使前反射鏡和后反射鏡的十字成像重合，若其衍射像不對稱時，通過向 右或向左旋轉激光器前反射鏡的水平方向旋鈕，將其十字成像右移或左移，隨后對激光器 后反射鏡的水平方向旋鈕也同樣向右或向左旋轉，從而使前反射鏡和后反射鏡的十字成像 再次重合，且其衍射像對稱。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述出光孔的直徑為10--15毫米。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述通透孔的直徑為0.5--1.5毫米。

5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述調光靶與準分子激光器前反射鏡的 間距范圍為4--50厘米。