[發明專利]一種準分子激光器腔體光路的準直調諧方法

無效

• 申請號: 201010300508.5
• 申請日: 2010-01-21
• 公開（公告）號: CN101794960A
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發明（設計）人: 連貴君
• 申請（專利權）人: 北京大學
• 主分類號: H01S3/105
• 分類號: H01S3/105;H01S3/225
• 代理公司: 北京萬象新悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11360
• 代理人: 賈曉玲

技術領域

本發明涉及準分子激光器設備，具體是一種準分子激光器腔體光路的準直調諧方法。

背景技術

準分子激光器設備，在世界各國已經很普及，是一種用于醫院、科研、工業生產的激光 光源設備。該設備是以準分子為工作物質的一類氣體激光器件。常用強流相對論電子束和橫 向快速脈沖放電來實現激勵。當受激態準分子的不穩定分子鍵斷裂而離解成基態原子時，受 激態的能量以激光輻射的形式放出。

準分子激光器腔體設有兩個反射鏡組成光路，其中前反射鏡為透明的氟化鎂(MgF2)玻 璃用于出光，后反射鏡為鍍鋁氟化鎂玻璃窗口。在使用過程中兩個反射鏡的窗片會被污染， 因而要將窗片拆下進行擦洗，由此激光器腔體光路就會被破壞，需要對準分子激光器腔體光 路進行重新準直調諧。即要求激光器放電管的中心線(即管心軸線)與其兩反射鏡曲率中心 的連線(光軸)在一定范圍內平行相關；同時要求激光器放電管管心軸線與放電管兩端的反 射鏡鏡面在一定范圍內垂直相關。

目前準分子激光器生產廠家指導的調諧方法是，利用氦氖激光器進行準直調諧。這種調 諧方法的不足是，需要提供一套氦氖激光器，該氦氖激光器本身的壽命相對比較短，要經常 更新。且氦氖激光器必須在準分子激光器反射鏡端固定，占用空間，不利于準分子激光器的 操作。而且氦氖激光器準直過后，還需要再用能量標準設備對準分子激光器進行能量調諧， 才能實現能量最大。故現有的準分子激光器腔體光路準直調諧方法操作復雜，精度不高。

發明內容

本發明的目的在于提供一種簡便、精度更高的準分子激光器腔體光路的準直調諧方法。

本發明的上述目的是通過如下的技術方案予以實現的：

一種準分子激光器腔體光路的準直調諧方法，包括：采用一帶有光源和十字圖形的調光 靶，將調光靶置于準分子激光器的前反射鏡一端，分別調整準分子激光器腔體前、后兩個反 射鏡位置，使所述調光靶的十字圖形在腔體前、后兩個反射鏡的成像相互重合及其衍射像對 稱，從而實現準分子激光器腔體光路準直。

所述調光靶為一封閉盒子，光源設置在盒子內部，盒子的一側面板上設有一出光孔，與 其相對的另一側面板上設有一通透孔，所述帶有通透孔面板的內側表面設有十字圖形，該十 字圖形的交點為通透孔的圓心位置。

調整準分子激光器腔體前反射鏡或后發射鏡的具體步驟為：首先通過調整調光靶位置， 使調光靶十字圖形在前發射鏡的十字成像的交點與調光靶出光孔在前反射鏡的圓圈成像的中 心點重合，固定調光靶位置，隨后，旋轉激光器前反射鏡或后反射鏡的水平或垂直方向旋鈕 ，使調光靶十字圖形在前發射鏡和后發射鏡的成像重合及衍射像對稱。

旋轉激光器前反射鏡或后反射鏡的水平或垂直方向旋鈕，使調光靶的十字圖形在前發射 鏡和后發射鏡的成像重合，若其衍射像不對稱時，通過向右或向左旋轉激光器前反射鏡的水 平方向旋鈕，將其十字圖形成像右移或左移，隨后對激光器后反射鏡的水平方向旋鈕也同樣 向右或向左旋轉，從而使前發射鏡和后發射鏡的十字圖形成像再次重合，且其衍射像對稱。

所述出光孔的直徑為10--15毫米。

所述通透孔的直徑為0.5--1.5毫米。

所述調光靶與準分子激光器前反射鏡的間距范圍為4--50厘米。

本發明的技術優點和效果：

將調光靶置于激光器前反射鏡(出光窗口)一側，調試者通過調光靶的通透孔可觀察到 調光靶出光孔的成像、調光靶的十字圖形在激光器前、后兩個反射鏡的成像(前反射鏡的成 像為大圈大十字，后反射鏡的成像為小圈小十字)及衍射像，如圖2所示。調整激光器前、 后兩個反射鏡的水平和垂直方向旋扭進行光路調諧，直到調光靶十字圖形在腔體的前、后兩 個反射鏡的成像相互重合及其衍射像對稱(如圖2c所示圖像)，是最佳狀態，出射激光可為 本激光器最高能量，且激光光斑質量最好。

本發明操作簡單，不需要占用準分子激光器空間，調諧后的激光器腔體光路可達到該激 光器輸出能量最高值，不必再用能量標準進行調整。

附圖說明

下面結合附圖對本發明進一步詳細地說明：

圖1所示本發明的原理示意圖；

圖2所示本發明調光靶的十字圖形在激光器前、后兩個反射鏡的成像示意圖；

圖3所示本發明調光靶的結構示意圖，其中(a)為帶有出光孔面板的調光靶示意圖；(b) 為與帶有出光孔面板相對的另一側面板的內側示意圖。