[發明專利]一種三氯氫硅的精餾方法

無效

• 申請號: 201010298145.6
• 申請日: 2010-09-30
• 公開（公告）號: CN102234112A
• 公開（公告）日: 2011-11-09
• 發明（設計）人: 楊金星;秦永紅;陳建利;趙建橋;王國正
• 申請（專利權）人: 河南尚宇新能源股份有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 鄭州中原專利事務所有限公司 41109
• 代理人: 張紹琳;孫詩雨

1.一種三氯氫硅的精餾方法，其特征在于：將包含三氯氫硅的粗合成液送入預塔進行精餾，通過預塔分離脫去原料中的大部分輕雜質組分；經預塔除雜后的液體經塔底排出進入三氯氫硅精餾塔，塔頂得到三氯氫硅產品，塔釜的物料進入四氯化硅精餾塔，四氯化硅精餾塔塔頂蒸出產品四氯化硅。

2.根據權利要求1所述的三氯氫硅的精餾方法，其特征在于：所述的預塔為導向篩板塔，塔板數為22~26塊，塔頂壓強為60~70KPa，塔頂溫度為40~50℃，回流比為0.1~0.3。

3.根據權利要求2所述的三氯氫硅的精餾方法，其特征在于：在預塔塔頂設有兩級冷凝器，一級冷凝器管程通入溫度為5~7℃，壓力為400~500?Kpa的冷凍水，二級冷凝器管程通入溫度為-25~-30℃，壓力為400~500?Kpa的冷凍鹽水。

4.根據權利要求1或2所述的三氯氫硅的精餾方法，其特征在于：所述的三氯氫硅精餾塔為導向篩板塔，塔板數為38~42塊，塔頂壓強為180~200KPa，塔頂溫度為60~70℃，回流比為10~14。

5.根據權利要求4所述的三氯氫硅的精餾方法，其特征在于：在三氯氫硅精餾塔塔頂設有兩級冷凝器，一級冷凝器管程通入溫度為20~25℃，壓力為400~500?Kpa的工業用水，二級冷凝器管程通入溫度為5~7℃，壓力為400~500?Kpa的冷凍水。

6.根據權利要求1或5所述的三氯氫硅的精餾方法，其特征在于：所述的四氯化硅精餾塔為導向篩板塔，塔板數為38~42塊，塔頂壓強為200~230KPa，塔頂溫度為80~90℃，回流比為8~12。

?7.?根據權利要求6所述的三氯氫硅的精餾方法，其特征在于：在四氯化硅精餾塔塔頂設有兩級冷凝器，一級冷凝器管程通入溫度為20~25℃，壓力為400~500?Kpa的工業用水，二級冷凝器管程通入溫度為5~7℃，壓力為400~500?Kpa的冷凍水。