[發(fā)明專利]一種氣體等離子滲硫工藝

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010298115.5
• 申請日: 2010-09-30
• 公開（公告）號: CN101956155A
• 公開（公告）日: 2011-01-26
• 發(fā)明（設計）人: 陶治安;史立新;王占良;司徒春;陳志輝;李文兵;文江;羅磊軍;張帆
• 申請（專利權）人: 北京天馬軸承有限公司
• 主分類號: C23C8/38
• 分類號: C23C8/38
• 代理公司: 北京華誼知識產(chǎn)權代理有限公司 11207
• 代理人: 劉月娥

1.一種氣體等離子滲硫工藝，其特征是，

采用4通道各帶流量計的氣體輸入管，帶有兩個真空泵，兩個溫度顯示和控制儀，兩套真空度顯示和控制儀；整個滲硫過程采用PLC控制系統(tǒng)控制；工藝為：

(1)將待處理工件經(jīng)清洗后均勻擺放在爐內(nèi)陰極料盤上，爐罩為陽極，蓋好爐罩后啟動真空泵開始抽真空，滲硫真空度為：50-1000Pa；

(2)當真空度達到50Pa時，加上直流高電壓，電壓調(diào)整范圍為300-1000V，在高電壓和高真空條件下，氣體裂解為等離子，并撞擊陰極和工件；爐內(nèi)產(chǎn)生輝光，等離子撞擊工件產(chǎn)生熱量使工件升溫，工件溫度自動控制，控制溫度范圍100-650℃；電流：0.1-100A；

(3)當爐內(nèi)真空度和工件溫度在100-650℃時，向爐內(nèi)通入各種氣體：氨氣：0-1000ML/min，氫氣：0-800ML/min，氬氣：0-500ML/min，H2S：30-200ML/min，開始滲硫；氨氣、氫氣、氬氣的下限不同時為0；

(4)當滲硫時間達到0.5-20小間時，則系統(tǒng)自動斷電，工件降溫降至80℃時，出爐，涂防銹油。

2.根據(jù)權利權利要求1所述的工藝，其特征是，硫化氫是必須使用的滲硫氣體；氨氣、氫氣、氬氣單獨使用一種，或幾種聯(lián)合使用；氨氣：300-600ml/min，氫氣：300-600ml/min，氬氣：200-400ml/min，H2S：50-150ml/min，H2S：50-150ml/min。

3.根據(jù)權利權利要求1或2所述的工藝，其特征是，滲硫真空度為：300-800Pa，電壓調(diào)整范圍為500-800V，電流：1-50A，滲硫時間2-8小時。

4.根據(jù)權利權利要求1或2所述的工藝，其特征是，控制溫度范圍：高碳鉻軸承鋼軸承：130-250℃，耐高溫軸承：300-600℃。