[發明專利]陣列測試裝置

無效

• 申請號: 201010291871.5
• 申請日: 2010-09-26
• 公開（公告）號: CN102117589A
• 公開（公告）日: 2011-07-06
• 發明（設計）人: 樸廷喜
• 申請（專利權）人: 塔工程有限公司
• 主分類號: G09G3/00
• 分類號: G09G3/00;G01R31/28;G01R1/067
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363
• 代理人: 張文;郭放

技術領域

本發明涉及一種陣列測試裝置。

背景技術

一般來說，平板顯示器(FPD)是比具有布勞恩顯像管(Braun?Tube)的傳統電視機或顯示器薄而且輕的圖像顯示器。液晶顯示器(LCD)、等離子體顯示面板(PDP)、場致發射顯示器(FED)以及有機發光二極管(OLED)是已開發并使用的平板顯示器的實例。

LCD是以向排列為矩陣的液晶單元獨立地提供基于圖像信息的數據信號來控制液晶單元的透光性的方式來顯示預期圖像的圖像顯示器。LCD薄且輕，而且還具有包括功耗低以及操作電壓低在內的許多其它優點，因此被廣泛地使用。下面將詳細描述用在這種LCD中的液晶面板的典型制造方法。

首先，在上基板上形成彩色濾光片和共用電極。之后，在與上基板相對的下基板上形成薄膜晶體管(TFT)和像素電極。

隨后，將配向膜分別涂布至上基板和下基板。之后摩擦配向膜以便為將要在配向膜之間形成的液晶層中的液晶分子提供預傾角和配向方向。

此后，通過將密封膠涂布至基板中的至少一個基板來形成密封膠圖案，以保持基板間的間隙、防止液晶漏出、以及密封基板間的間隙。以預定圖案將密封膠涂布至基板中至少一個基板以形成密封膠圖案。隨后，在基板之間形成液晶層，從而完成液晶面板。

在上述過程中，測試具有TFT和像素電極的下基板(下文中稱為“基板”)是否有缺陷的操作，是通過例如檢測柵極線或數據線是否斷線或者檢測像素單元是否顯色不佳來實現的。

典型地，陣列測試裝置用于測試基板。陣列測試裝置包括具有調制器的測試模塊以及具有多個探針引腳的探針組件。利用陣列測試裝置測試基板的過程是以將探針引腳置于對應于形成在基板上的電極的位置并接觸電極然后將電信號施加至電極的方式來實施的。

近來，使用了具有大面積的大尺寸基板以提高液晶面板的生產效率。這里，為了將電信號經由探針引腳施加到形成于這種大尺寸基板上的電極，還必須對應于基板增大的尺寸而增大探針組件的尺寸。因此，必須要改進探針組件的構造或操作方法，使得在相應于大尺寸基板的情況下能夠有效地操作探針組件。

發明內容

因此，針對以上現有技術中產生的問題提出本發明，并且本發明的目的是提供一種包括構造為有效地應對大尺寸基板的探針組件的陣列測試裝置。

為了實現以上目的，本發明提供一種陣列測試裝置，包括：測試單元，其測試基板的缺陷；基板輸送單元，其向測試單元輸送基板；以及探針組件，其將電信號施加至在基板上形成的電極，其中，探針組件包括：探針組件框架，其設置為能夠沿基板輸送方向移動；以及托架，其以可拆卸的方式設置在探針組件框架上，托架具有探針頭，探針頭配備有將接觸基板的電極的探針引腳。

優選地，為了向下移動探針引腳而使探針引腳接觸基板的電極，探針組件可進一步包括頭升降單元，以上下升降探針引腳。替代地，探針組件可進一步包括框架升降單元，以上下升降探針組件框架。作為進一步的替代，探針組件可進一步包括托架升降單元，以上下升降托架。

探針組件框架可包括：一對第一框架條，其沿垂直于基板輸送方向的方向延伸；以及一對第二框架條，其沿基板輸送方向延伸，第二框架條整體地聯接至第一框架條。托架可包括：一對第一托架條，其沿垂直于基板輸送方向的方向延伸；以及一對第二托架條，其沿基板輸送方向延伸，第二托架條整體地聯接至第一托架條。

此外，可在探針組件框架與托架之間的接合處設置減震器。

在根據本發明的陣列測試裝置中，探針組件框架設置為能夠沿基板輸送方向移動。另外，托架安置在探針組件框架上，安裝于托架的探針頭的數量和位置對應于基板的電極的數量和安裝位置，使電信號能夠施加至基板的電極。因此，僅需將托架用另一托架來替換，而不是將整個探針組件用另一探針組件來替換，就能夠測量在電極的數量和安裝位置上有所不同的各種基板。從而，本發明能夠有效地應對各種不同的基板。

此外，在根據本發明的陣列測試裝置中，探針組件包括兩個元件，即包括探針組件框架和配備有探針頭的托架。因此，能夠簡化探針組件的設計及制造過程。

另外，探針組件的安裝過程分為兩個過程，包括探針組件框架在基座上的安裝以及托架在探針組件框架上的安裝。因此，相比于整體地包括探針頭的大探針組件在基座上的安裝而言，本發明的陣列測試裝置能夠顯著地減少在安裝大探針組件時因大探針組件的重量或尺寸而產生的各種問題。

附圖說明

結合附圖，由以下對本發明的具體描述，可以更加明了本發明前述的和其他的目的、特征、方面和優點，其中：