[發明專利]陣列測試裝置無效
| 申請號: | 201010291871.5 | 申請日: | 2010-09-26 |
| 公開(公告)號: | CN102117589A | 公開(公告)日: | 2011-07-06 |
| 發明(設計)人: | 樸廷喜 | 申請(專利權)人: | 塔工程有限公司 |
| 主分類號: | G09G3/00 | 分類號: | G09G3/00;G01R31/28;G01R1/067 |
| 代理公司: | 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 張文;郭放 |
| 地址: | 韓國慶*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 陣列 測試 裝置 | ||
1.一種陣列測試裝置,包括:測試單元,所述測試單元測試基板的缺陷;基板輸送單元,所述基板輸送單元向所述測試單元輸送所述基板;以及探針組件,所述探針組件將電信號施加至形成在所述基板上的電極,
其中,所述探針組件包括:
探針組件框架,所述探針組件框架設置為能夠沿所述基板的輸送方向移動;以及
托架,所述托架以可拆卸的方式設置在所述探針組件框架上,所述托架具有探針頭,所述探針頭配備有將接觸所述基板的所述電極的探針引腳。
2.根據權利要求1所述的陣列測試裝置,其中,所述探針組件進一步包括頭升降單元,以上下升降所述探針引腳。
3.根據權利要求1所述的陣列測試裝置,其中,所述探針組件進一步包括框架升降單元,以上下升降所述探針組件框架。
4.根據權利要求1所述的陣列測試裝置,其中,所述探針組件進一步包括托架升降單元,以上下升降所述托架。
5.根據權利要求1至4之一所述的陣列測試裝置,其中,所述探針組件框架包括:
一對第一框架條,所述一對第一框架條沿垂直于所述基板的輸送方向的方向延伸;以及
一對第二框架條,所述一對第二框架條沿所述基板的輸送方向延伸,所述第二框架條整體地聯接至所述第一框架條。
6.根據權利要求1至4之一所述的陣列測試裝置,其中,所述托架包括:
一對第一托架條,所述一對第一托架條沿垂直于所述基板的輸送方向的方向延伸;以及
一對第二托架條,所述一對第二托架條沿所述基板的輸送方向延伸,所述第二托架條整體地聯接至所述第一托架條。
7.根據權利要求1至4之一所述的陣列測試裝置,其中,在所述探針組件框架與所述托架之間的接合處設置有減震器。
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