[發(fā)明專(zhuān)利]基板處理裝置及基板處理方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010281700.4
• 申請(qǐng)日: 2010-09-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102024734A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 廣木勤
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/677
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 北京東方億思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11258
• 代理人: 柳春雷;南霆

1.一種基板處理裝置，包括：

載置臺(tái)，載置搬運(yùn)容器，該搬運(yùn)容器可收納多個(gè)基板；

減壓處理室，在減壓氣氛下對(duì)基板實(shí)施處理；

裝載鎖定室，在該裝載鎖定室與所述減壓處理室之間進(jìn)行基板的接收和交付，并能夠在減壓氣氛與常壓氣氛之間切換；

大氣搬運(yùn)室，具有主搬運(yùn)單元，該主搬運(yùn)單元在常壓氣氛中從所述載置臺(tái)向所述裝載鎖定室搬運(yùn)收納在所述搬運(yùn)容器中的基板；以及

貯存器，在壓力比所述減壓氣氛高的氣氛中保持處理完的基板；所述基板處理裝置的特征在于，

在所述基板處理裝置中設(shè)置有迂回路徑，該迂回路徑將處理完的基板在不經(jīng)由所述常壓搬運(yùn)室的情況下從所述裝載鎖定室搬運(yùn)至所述貯存器，

在所述迂回路徑中配置副搬運(yùn)單元，該副搬運(yùn)單元將處理完的基板從所述裝載鎖定室搬運(yùn)至所述貯存器，

通過(guò)所述常壓搬運(yùn)室的所述主搬運(yùn)單元將處理完的基板從所述貯存器搬運(yùn)至所述載置臺(tái)的所述搬運(yùn)容器。

2.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，

所述裝載鎖定室設(shè)置有專(zhuān)用于放入的裝載鎖定室和專(zhuān)用于取出的裝載鎖定室，所述專(zhuān)用于放入的裝載鎖定室向所述減壓處理室交付基板，所述專(zhuān)用于取出的裝載鎖定室從所述減壓處理室接收基板，

所述常壓搬運(yùn)室的所述主搬運(yùn)單元將收納在所述載置臺(tái)的所述搬運(yùn)容器中的未處理的基板搬運(yùn)到所述專(zhuān)用于放入的裝載鎖定室，

所述迂回路徑的所述副搬運(yùn)單元將處理完的基板從所述專(zhuān)用于取出的裝載鎖定室搬運(yùn)至所述貯存器。

3.如權(quán)利要求1或2所述的基板處理裝置，其特征在于，

在所述貯存器中設(shè)置有搬入口和搬出口，處理完的基板經(jīng)由所述搬入口從所述迂回路徑搬入到所述貯存器中，處理完的基板經(jīng)由所述搬出口從所述貯存器搬出到所述常壓搬運(yùn)室，

在所述貯存器的所述搬入口和所述搬出口上設(shè)置有開(kāi)啟和關(guān)閉所述搬入口和所述搬出口的閘閥。

4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的基板處理裝置，其特征在于，

在所述貯存器中設(shè)置有固定架，該固定架具有多個(gè)收納部，該收納部在上下方向上收納多個(gè)處理完的基板，

所述副搬運(yùn)單元具有上下驅(qū)動(dòng)軸，該上下驅(qū)動(dòng)軸使處理完的基板上下移動(dòng)，以能夠?qū)⑻幚硗甑幕迨占{到上下方向上高度不同的收納部中。

5.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的基板處理裝置，其特征在于，

在所述貯存器中設(shè)置有基板可動(dòng)機(jī)構(gòu)，該基板可動(dòng)機(jī)構(gòu)具有多個(gè)收納部，并且使收納在多個(gè)收納部中的多個(gè)基板上升和/或下降，所述收納部在上下方向上收納多個(gè)處理完的基板，

所述副搬運(yùn)機(jī)構(gòu)向上升或下降到一定高度的基板可動(dòng)機(jī)構(gòu)的收納部交付處理完的基板。

6.如權(quán)利要求5所述的基板處理裝置，其特征在于，

所述貯存器的所述基板可動(dòng)機(jī)構(gòu)包括：無(wú)端狀的帶；多個(gè)支承部，隔開(kāi)一定間隔安裝在所述帶上，用于支承多個(gè)基板；以及帶輪，所述帶被掛設(shè)在所述帶輪上，所述帶輪使所述帶循環(huán)；

通過(guò)使所述帶循環(huán)，使所述多個(gè)支承部在上下方向上移動(dòng)，并且將移動(dòng)至上下方向上的一端的保持部送回到上下方向上的另一端。

7.如權(quán)利要求5或6所述的基板處理裝置，其特征在于，

在所述貯存器的下部設(shè)置有用于排出所述貯存器內(nèi)的大氣的排氣裝置，以使大氣從所述貯存器的上部向所述貯存器的下部流動(dòng)，

所述貯存器的所述基板可動(dòng)機(jī)構(gòu)使多個(gè)處理完的基板從所述貯存器的下部向所述貯存器的上部上升。