[發明專利]工藝數據監控方法、裝置及系統

有效

• 申請號: 201010278844.4
• 申請日: 2010-09-09
• 公開（公告）號: CN102053575A
• 公開（公告）日: 2011-05-11
• 發明（設計）人: 馬平
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: G05B19/048
• 分類號: G05B19/048;H01L21/00
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 蘇培華

1.一種工藝數據監控方法，其特征在于，包括：

讀取監控下位機所采集的工藝數據組，并根據該工藝數據組生成顯示圖像；

接收至少一個更新后工藝數據，并添加至少一個所述更新后工藝數據至所述工藝數據組中，以生成更新后工藝數據組；所述更新后工藝數據為在讀取工藝數據組后，所述監控下位機采集工藝數據過程中所主動上傳的相對于所述工藝數據組所包括工藝數據已發生變化的工藝數據；

根據所述更新后工藝數據組，生成更新后顯示圖像。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據該工藝數據組生成顯示圖像包括：

識別所述工藝數據組所包括的每個工藝數據的工藝類型標識；

根據不同工藝類型標識，對所述工藝數組所包括的多個工藝數據進行分類，以生成對應不同工藝類型標識的多個工藝數據隊列；

根據各工藝數據隊列中工藝數據所包括的時間標識和工藝數據值，繪制對應各工藝數據隊列的工藝數據曲線，以生成顯示圖像。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述添加至少一個所述更新后工藝數據至所述工藝數據組中包括：

識別在預設接收時間段內所接收的每個更新后工藝數據的工藝類型標識；

獲取被識別為同一工藝類型標識更新后工藝數據中工藝數據值變化最大的更新后工藝數據；

將該工藝數據值變化最大的更新后工藝數據添加到所對應的工藝數據隊列中。

4.根據權利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述接收更新后工藝數據之前，還包括：

統計等待接收更新后工藝數據的等待時間；

判斷所述等待時間是否已超過預設等待時間，若是，則根據各工藝數據隊列中時間標識排位最后的工藝數據，更新對應各工藝數據隊列的工藝數據曲線。

5.一種工藝數據監控裝置，其特征在于，包括：

讀取模塊，用于讀取監控下位機所采集的工藝數據組；

第一生成模塊，用于根據該工藝數據組生成顯示圖像；

接收模塊，用于接收至少一個更新后工藝數據，所述更新后工藝數據為在讀取工藝數據組后，所述監控下位機采集工藝數據過程中所主動上傳的相對于所述工藝數據組所包括工藝數據已發生變化的工藝數據；

添加模塊，用于添加至少一個所述更新后工藝數據至所述工藝數據組中，以生成更新后工藝數據組；

第二生成模塊，用于根據所述更新后工藝數據組，生成更新后顯示圖像。

6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述第一生成模塊包括：

第一識別單元，用于識別所述工藝數據組所包括的每個工藝數據的工藝類型標識；

分類生成單元，用于根據不同工藝類型標識，對所述工藝數組所包括的多個工藝數據進行分類，以形成對應不同工藝類型標識的多個工藝數據隊列；

繪制單元，用于根據各工藝數據隊列中工藝數據所包括的時間標識和工藝數據值，繪制對應各工藝數據隊列的工藝數據曲線，以生成顯示圖像。

7.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述添加模塊包括：

第二識別單元，用于識別在預設接收時間段內所接收的每個更新后工藝數據的工藝類型標識；

獲取單元，用于獲取被識別為同一工藝類型標識更新后工藝數據中工藝數據值變化最大的更新后工藝數據；

添加單元，用于將該工藝數據值變化最大的更新后工藝數據添加到所對應的工藝數據隊列中。

8.根據權利要求6或7所述的裝置，其特征在于，還包括：

統計模塊，用于在接收更新后工藝數據之前，統計等待接收更新后工藝數據的等待時間；

更新模塊，用于判斷所述等待時間是否已超過預設等待時間，若是，則根據各工藝數據隊列中時間標識排位最后的工藝數據，更新對應各工藝數據隊列的工藝數據曲線。