[發(fā)明專(zhuān)利]保持器、性能測(cè)試裝置及性能測(cè)試方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010269983.0
• 申請(qǐng)日: 2010-08-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102012335A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金田匡規(guī);中川勝;鴻野晃洋
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社島津制作所;國(guó)立大學(xué)法人東北大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01N3/02
• 分類(lèi)號(hào): G01N3/02;G01N3/08
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 王波波

通過(guò)引用的結(jié)合

以下優(yōu)先權(quán)申請(qǐng)的公開(kāi)內(nèi)容通過(guò)引用結(jié)合在本文中：

2009年9月7日提交的日本專(zhuān)利申請(qǐng)：2009-206133。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于測(cè)試光固化性樹(shù)脂的性能的測(cè)試裝置、用于這樣的測(cè)試裝置的保持器和用于測(cè)試光固化性樹(shù)脂的性能的方法。

背景技術(shù)

迄今，已經(jīng)研究了以剝離力表示的光固化性樹(shù)脂在釋放時(shí)的性能。公開(kāi)在“在刻印技術(shù)中模和光固化性樹(shù)脂之間的粘附力的測(cè)量(Measurementof?Adhesive?force?Between?Mold?and?photocurable?resin?in?ImprintTechnology)(Jpn.Appl.Phys.第41卷(2002)第4194-4197頁(yè))(以下，參考文獻(xiàn)1)中的光固化性樹(shù)脂性能的測(cè)量通過(guò)以下程序進(jìn)行：

(a)通過(guò)滴落光固化性樹(shù)脂的裝置將光固化性樹(shù)脂滴落在一個(gè)矩形玻璃基板(以下，“第一基板”)上，并將另一個(gè)矩形玻璃基板(以下，“第二基板”)的邊緣放置在所述第一基板上，以使得所述第二基板垂直地粘合到第一基板。

(b)將用所述光固化性樹(shù)脂粘合的一對(duì)玻璃基板轉(zhuǎn)移到測(cè)試裝置并置于其中，由此將所述第一基板的兩端固定。

(c)使紫外光穿過(guò)所述玻璃基板照射到所述光固化性樹(shù)脂上，以使該光固化性樹(shù)脂固化。

(d)之后，在偏離所述第一基板的方向上將測(cè)試力施加在所述第二基板的兩個(gè)邊緣上，并測(cè)量該固化的光固化性樹(shù)脂的剝離力。

公開(kāi)在“在步進(jìn)光感刻印中的定量釋放(Quantifying?release?instep-and-flash?imprint?lithography)：J.Vac.Sci.Technol.B?24(6)，2006年十一月/十二月”(以下，參考文獻(xiàn)2)中的性能測(cè)量方法通過(guò)使用如下所述的測(cè)試裝置和夾具進(jìn)行。此測(cè)試裝置包括：保持光固化性樹(shù)脂滴落在其表面上的模板的臺(tái)；紫外光照射裝置，所述紫外光照射裝置使紫外光從臺(tái)下面穿過(guò)所述模板照射到光固化性樹(shù)脂；半球形的按壓夾具(半球形的覆蓋物(superstrate))，所述半球形的按壓夾具接觸滴落在所述臺(tái)上的模板表面上的光固化性樹(shù)脂；和通過(guò)測(cè)壓元件將按壓夾具上下移動(dòng)的升降機(jī)。

公開(kāi)在參考文獻(xiàn)2中的性能測(cè)量方法的程序如下：

(a)在臺(tái)上固定的模板(其為對(duì)應(yīng)于壓模(stamper)的元件)的表面上滴落光固化性樹(shù)脂。

(b)通過(guò)升降機(jī)將半球形按壓夾具向下移動(dòng)，以使直徑約2mm的由樹(shù)脂制成的半球體與光固化性樹(shù)脂接觸，并使紫外光照射在其上。

(c)光固化性樹(shù)脂固化后，通過(guò)升降裝置將所述半球形按壓夾具向上移動(dòng)，以將所述半球體從所述模板移開(kāi)。在此情況下，已經(jīng)在所述模板和所述半球體之間固化的光固化性樹(shù)脂從模板剝離，并隨著所述半球體的移動(dòng)而轉(zhuǎn)印至所述半球體。

發(fā)明內(nèi)容

當(dāng)將矩形玻璃基板從滴落光固化性樹(shù)脂的位置轉(zhuǎn)移到測(cè)試裝置時(shí)，在公開(kāi)于參考文獻(xiàn)1中的測(cè)試裝置難以將矩形的玻璃基板置于其中而不使矩形玻璃基板傾斜。即，兩個(gè)矩形玻璃基板的傾斜角和測(cè)試裝置的負(fù)荷軸的傾斜角不可避免地具有誤差，因此難以在垂直于2個(gè)矩形玻璃基板的方向上施加力。此外，當(dāng)施加力以使得一個(gè)矩形基板與另一個(gè)矩形基板分開(kāi)時(shí)，玻璃基板發(fā)生撓曲(deflection)。作為結(jié)果，產(chǎn)生關(guān)于測(cè)試的重復(fù)性和所得數(shù)據(jù)的可靠性的問(wèn)題。

公開(kāi)在參考文獻(xiàn)2中的測(cè)試裝置使用由具有低楊氏模量的樹(shù)脂制成的半球體作為按壓夾具。這不是如實(shí)際程序中的石英和樹(shù)脂的組合。所述夾具的上下與在實(shí)際方法中夾具的上下相反。因此加到光固化性樹(shù)脂中的釋放劑(releaser)的表面離析(segregate)的效果沒(méi)有反映到測(cè)量數(shù)據(jù)中。此外，半球體的半徑為2mm，這與實(shí)際方法中使用的條件非常不同，因此將有關(guān)于數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性的問(wèn)題。

根據(jù)本發(fā)明的第一方面，用于通過(guò)檢測(cè)器測(cè)量在光固化性樹(shù)脂和按壓構(gòu)件之間產(chǎn)生的力的保持器包括：按壓構(gòu)件，所述按壓構(gòu)件具有光透射特性并且被按壓在所述光固化性樹(shù)脂上；和光照射部件(block)，所述光照射部件被安置在所述檢測(cè)器和所述按壓構(gòu)件之間，并且在不接觸光源和包括光纖的光傳輸線的狀態(tài)下，將從外部光源發(fā)射的光照射到所述按壓構(gòu)件上。

根據(jù)本發(fā)明的第二方面，優(yōu)選的是第一方面所述的保持器中的光照射部件優(yōu)選包括：其上可拆卸地安裝所述按壓構(gòu)件的安裝部(attachmentunit)，所述安裝部被設(shè)置在所述光照射部件的下表面上。