[發明專利]保持器、性能測試裝置及性能測試方法

有效

• 申請號: 201010269983.0
• 申請日: 2010-08-31
• 公開（公告）號: CN102012335A
• 公開（公告）日: 2011-04-13
• 發明（設計）人: 金田匡規;中川勝;鴻野晃洋
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所;國立大學法人東北大學
• 主分類號: G01N3/02
• 分類號: G01N3/02;G01N3/08
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王波波

1.一種保持器，所述保持器用于通過檢測器測量在光固化性樹脂和按壓構件之間產生的力，包括：

按壓構件，所述按壓構件具有光透射特性并且被按壓在所述光固化性樹脂上；和

光照射部件，所述光照射部件被安置在所述檢測器和所述按壓構件之間，并且在不接觸光源和包括光纖的光傳輸線的狀態下，將從外部光源發射的光照射到所述按壓構件上。

2.根據權利要求1所述的保持器，其中所述光照射部件包括：其上可拆卸地安裝所述按壓構件的安裝部，所述安裝部被設置在所述光照射部件的下表面上。

3.根據權利要求2所述的保持器，其中所述安裝部被構造成使得所述按壓構件可根據伴隨所述光固化性樹脂的固化的收縮在預定的間隙內移動。

4.根據權利要求2所述的保持器，其中所述光照射部件包括：

光引入窗口，通過所述光引入窗口引入從所述外部光源發射的光；和

反射鏡，所述反射鏡使得通過所述光引入窗口引入的來自于所述外部光源的光穿過所述按壓構件被導向所述光固化性樹脂。

5.根據權利要求1至4中任何一項所述的保持器，其中所述按壓構件具有樹脂接觸表面，所述樹脂接觸表面為球形表面。

6.一種測試裝置，所述測試裝置測量在光固化性樹脂和按壓構件之間產生的力，包括：

根據權利要求1至4中任何一項所述的保持器；

測量所述力的檢測器；

基板保持機構，所述基板保持機構保持其上滴落所述光固化性樹脂的基板；和

移動機構，所述移動機構使所述光固化性樹脂和所述按壓構件相對地移動。

7.根據權利要求6所述的測試裝置，其中當來自于所述外部光源的光穿過所述按壓構件照射到所述光固化性樹脂上時，所述檢測器測量表示所述光固化性樹脂的收縮力的力，所述力是在所述光固化性樹脂和所述按壓構件之間產生的。

8.根據權利要求6所述的測試裝置，其中

在終止使來自于所述外部光源的光穿過所述按壓構件照射到所述光固化性樹脂上之后，所述移動機構使所述基板和所述按壓構件以預定的恒定速率相對地移動，并且

所述檢測器測量表示所述光固化性樹脂的剝離力的力，所述力是在使所述基板和所述按壓構件以所述預定的恒定速率移動的過程中在所述光固化性樹脂和所述按壓構件之間產生的。

9.根據權利要求6所述的測試裝置，其還包括：

噴射惰性氣體的氣體供給構件，其中由所述基板、所述按壓構件和所述氣體供給構件包圍的空間被所述惰性氣體置換。

10.一種通過測量光固化性樹脂和按壓構件之間產生的力而測試所述光固化性樹脂的性能的方法，所述方法包括：

將所述光固化性樹脂滴落在基板上；

用具有光透射特性的按壓構件按壓滴落的光固化性樹脂；

在不接觸光源和包括光纖的光傳輸線的狀態下，使從外部光源發射的光穿過所述按壓構件照射到所述光固化性樹脂上；和

檢測在所述按壓構件和所述光固化性樹脂之間產生的力。

11.根據權利要求10所述的性能測試方法，其中在固定所述按壓構件和所述基板之間的位置關系的情況下檢測所產生的力。