[發明專利]柔性顯示器及其制造方法

無效

• 申請號: 201010266397.0
• 申請日: 2010-08-27
• 公開（公告）號: CN102082150A
• 公開（公告）日: 2011-06-01
• 發明（設計）人: 金泰雄;安成國;陳東彥;金亨植;金英求;徐祥準
• 申請（專利權）人: 三星移動顯示器株式會社
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L27/32;H01L21/77
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 郭鴻禧;羅延紅

技術領域

實施例涉及一種柔性顯示器及其制造方法。更具體地講，實施例涉及一種可以穩定地形成的柔性顯示器及其制造方法。

背景技術

近年來，已經開發了具有由諸如塑料的材料制造的重量輕且抗震的柔性基板的柔性顯示器。由于這樣的柔性顯示器可以折疊或卷起，因此，可以將這樣的柔性顯示器的便攜性最大化。此外，這樣的柔性顯示器可應用于各種領域。

柔性顯示器包括形成在柔性基板上的顯示元件。在柔性顯示器中，可使用不同類型的顯示元件，包括有機發光二極管顯示裝置、液晶顯示裝置和電泳顯示(EPD)裝置等。

這些類型的顯示元件通常包括薄膜晶體管。因此，為形成柔性顯示器，柔性基板經歷數個薄膜工藝以形成薄膜晶體管。

由于柔性基板一般具有數十微米的相對薄的厚度，所以在柔性基板上難以分別執行數個薄膜工藝。當前，使用這樣的方法執行薄膜工藝，在該方法中，首先，在玻璃基板上形成柔性基板，在附著到玻璃基板的柔性基板上形成顯示元件，然后將柔性基板和玻璃基板彼此分離。

由塑性材料制成的柔性基板通常具有與玻璃基板的熱膨脹系數(CTE)不同的熱膨脹系數。如果柔性基板和玻璃基板之間的附著力弱，那么在高溫工藝期間柔性基板會從玻璃基板剝落分離或部分地脫離或彎曲。這在柔性顯示器的制造工藝中會導致嚴重缺陷。

上述信息只是為了增強對所述技術背景的理解。因此，它可包含不形成對本國的本領域普通技術人員來說已知的現有技術的信息。

發明內容

因此，實施例涉及一種能穩定形成的柔性顯示器及其制造方法，其基本上克服了由于現有技術的局限和缺點導致的一個或更多的問題。

因此，實施例的特征是提供了一種柔性顯示器，所述柔性顯示器包括柔性基板，由塑性材料制成；顯示元件，在柔性基板的第一表面上；表面殘留膜，包含至少一種金屬或金屬氧化物，表面殘留膜結合到柔性基板的第二表面的至少一部分，柔性基板的第二表面與第一表面相對。

塑性材料可包含官能團-CONH-。

柔性基板可由包含聚酰亞胺的材料形成。

柔性基板可具有范圍從5μm至200μm的厚度。

柔性基板可具有范圍從3ppm/℃至10ppm/℃的熱膨脹系數。

表面殘留膜可包含結合到官能團-CONH-的材料。

金屬材料可結合到官能團-CONH-，所述金屬材料可包括鋁、鎵、銦、鈦、鉬和鋅中的至少一種。

金屬氧化物材料可結合到官能團-CONH-，所述金屬氧化物材料可包括氧化鋁、氧化鎵、氧化鋅、氧化鈦、氧化銦、氧化銦錫、氧化銦鋅和氧化鎵銦鋅中的至少一種。

顯示元件可包括薄膜晶體管。

顯示元件可以是有機發光二極管顯示裝置、液晶顯示裝置或電泳顯示裝置中的任意一種。

表面殘留膜可具有范圍從0.1nm至1000nm的厚度。

因此，實施例的另一特征是提供一種制造柔性顯示器的方法，所述方法包括如下步驟：準備玻璃基板；在玻璃基板上形成粘合劑材料膜，粘合劑材料膜由至少一種金屬材料和金屬氧化物材料制成；在粘合劑材料膜上由塑性材料形成柔性基板。

塑性材料可包含官能團-CONH-。

柔性基板可由包含聚酰亞胺的材料形成。

柔性基板可由狹縫涂覆法或絲網印刷法形成。

柔性基板可具有范圍從5μm至200μm的厚度。

柔性基板可具有與玻璃基板相同的熱膨脹系數。

柔性基板可具有小于10ppm/℃的熱膨脹系數。

粘合劑材料膜可包含能夠與官能團-CONH-結合的材料。

金屬材料可結合到官能團-CONH-，所述金屬材料可包括鋁、鎵、銦、鈦、鉬和鋅中的至少一種。

金屬氧化物材料可結合到官能團-CONH-，所述金屬氧化物材料可包括氧化鋁、氧化鎵、氧化鋅、氧化鈦、氧化銦、氧化銦錫、氧化銦鋅和氧化鎵銦鋅中的至少一種。

可通過原子層沉積形成粘合劑材料膜。

粘合劑材料膜可具有范圍從0.1nm至1000nm的厚度。

所述方法還可包括將柔性基板和玻璃基板彼此分離的步驟。

可通過照射激光使柔性基板和粘合劑材料膜彼此分離。

可通過照射激光使粘合劑材料膜和玻璃基板彼此分離。

所述方法還可包括在柔性基板上形成顯示元件的步驟。

顯示元件可包括薄膜晶體管。

顯示元件可以是有機發光二極管顯示裝置、液晶顯示裝置和電泳顯示裝置中的任意一種。

根據實施例，柔性顯示器可有效地抑制缺陷的產生。