[發明專利]磁尺的制造方法

無效

• 申請號: 201010260912.4
• 申請日: 2007-03-05
• 公開（公告）號: CN101936750A
• 公開（公告）日: 2011-01-05
• 發明（設計）人: 野口直之;森山克也;王瀧輝彥;有賀英吉;溝口敏夫
• 申請（專利權）人: 日本電產三協株式會社
• 主分類號: G01D5/12
• 分類號: G01D5/12;G01R33/038;H01F7/02;H01F41/02
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖

本發明申請是國際申請號為PCT/JP2007/054191，國際申請日為2007年3月5日，進入中國國家階段的申請號為200780007631.4，名稱為“磁傳感器裝置、磁編碼器裝置及磁尺的制造方法”的發明專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及磁傳感器裝置、使用該磁傳感器裝置的磁編碼器裝置、以及磁尺的制造方法。

背景技術

磁編碼器裝置例如如圖21所示，包括在傳感器面具備磁阻元件的磁傳感器裝置1001、以及對于磁傳感器裝置1001對置移動的具備永磁體的磁尺1009，在該磁尺1009中，形成沿與磁傳感器裝置1001的相對移動方向N極和S極交替排列的軌道。另外，在磁傳感器裝置1001一側，在2塊剛性基板中的一個剛性基板1010a上，形成A相磁阻圖形的+a相磁阻圖形1025(+a)、以及B相磁阻圖形的+b相磁阻圖形1025(+b)，另外，在另一個剛性基板1010b上，形成A相磁阻圖形的-a相磁阻圖形1025(-a)、以及B相磁阻圖形的-b相磁阻圖形1025(-b)，使這2塊剛性基板1010a與1010b對置。這里，A相磁阻圖形與B相磁阻圖形以90°的相位差進行磁尺1009的移動檢測。對此，由于+a相磁阻圖形1025(+a)與-a相磁阻圖形1025(-a)以180°的相位差進行磁尺1009的移動檢測，因此根據它們的差動輸出，能夠進行磁尺1009的移動檢測。另外，由于+b相磁阻圖形1025(+b)與-b相磁阻圖形1025(-b)以180°的相位差進行磁尺1009的移動檢測，因此根據它們的差動輸出，能夠進行磁尺1009的移動檢測(例如，參照專利文獻1、2)。

專利文獻1：特開2005-249774號公報

專利文獻2：特開平6-207834號公報

發明內容

但是如圖21所示，若使2塊剛性基板1010a與1010b對置而構成磁傳感器裝置1001，則由于2塊剛性基板1010a與1010b各自形成的磁阻圖形的靈敏度相差的原因，因此在間隙尺寸變動時，偏置將變動，具有內插精度降低的問題。

另外，磁編碼器裝置一般具有利用一定方向的磁場的強弱來進行位置檢測的類型、以及以飽和靈敏度區域(一般是指例如電阻值變化量k與磁場強度H能夠近似用“k∝H²”的式子表示的區域以外的區域)以上的磁場強度來檢測旋轉磁場(磁場向量的旋轉)的方向的類型，在這些檢測方法中，檢測旋轉磁場的方向時的原理是，對由強磁性金屬構成的磁阻圖形通電的狀態下，在施加電阻值飽和的磁場強度時，利用磁場和電流方向的夾角θ與磁阻圖形的電阻值R之間用下式表示的關系。

R＝R₀-k×sin²θ

R₀：無磁場中的電阻值

k：電阻值變化量(飽和靈敏度區域以上時為常數)即，由于若角度θ變化，則電阻值R變化，因此能夠檢測出磁尺1009與磁傳感器裝置1001的對置移動速度和移動方向。另外，在檢測磁場強弱的方式中，若以改善S/N比為目的，而使磁尺1009與磁傳感器裝置1001的間隙尺寸變窄，則波形失真增大。與此相反，在檢測旋轉磁場的方式中，即隨著磁尺1009與磁傳感器裝置1001的對置移動，在檢測磁場向量的旋轉角的方式中，即使磁尺1009與磁傳感器裝置1001的間隙尺寸變窄，也能夠穩定得到正弦波分量。

但是，在檢測旋轉磁場的方式中，雖能夠求得大的磁場強度，但如圖21所示，在使2塊剛性基板1010a與1010b對置的結構中，由于剛性基板1010b介于磁阻圖形與磁尺1009之間，因此存在不能使磁阻圖形與磁尺1009的間隙尺寸變窄的問題。

另外，在檢測旋轉磁場的方式中，與檢測磁場的強弱的方式相同，對于磁尺1009(永磁體)，即使以磁化曲線中的外部磁場的大小H、與磁通密度B之積求得的能積的最大值(B·H)max作為指標，來決定磁體原料，也存在不能得到足夠的檢測精度的問題。

鑒于以上的問題，本發明的第1課題在于，提供一種即使磁傳感器裝置與磁尺的間隙尺寸變化、也能夠得到高檢測精度的磁傳感器裝置及磁編碼器裝置。另外，在于提供一種適于旋轉磁場檢測的磁傳感器裝置及磁編碼器裝置。

本發明的第2課題在于，提供一種即使是采用旋轉磁場檢測方式時、也能夠得到高檢測精度的磁編碼器裝置、以及適于該磁編碼器裝置中使用的磁尺的制造方法。